基于电湿驱动光开关节点的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 课题的研究意义 | 第9-10页 |
| 1.3 光开关的分类 | 第10-15页 |
| 1.3.1 机械式光开关 | 第10-11页 |
| 1.3.2 微光机电系统光开关 | 第11页 |
| 1.3.3 液晶光开关 | 第11-12页 |
| 1.3.4 电光开关 | 第12页 |
| 1.3.5 热光开关 | 第12-13页 |
| 1.3.6 半导体光放大器光开关 | 第13-14页 |
| 1.3.7 液态光器件光开关 | 第14-15页 |
| 1.4 光开关发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.5 本文研究内容与章节安排 | 第16-17页 |
| 第二章 开关总体结构及微流控基本理论 | 第17-28页 |
| 2.1 光开关的结构设计 | 第17-19页 |
| 2.1.1 光开关整体设计思想 | 第17-19页 |
| 2.2 光开关的基本性能指标 | 第19-20页 |
| 2.3 微流控的基本原理 | 第20-27页 |
| 2.3.1 微流动的意义 | 第20-21页 |
| 2.3.2 宏观流体的基本理论 | 第21页 |
| 2.3.3 微流动的基本理论 | 第21-23页 |
| 2.3.4 流动力学基本方程 | 第23-26页 |
| 2.3.5 流体驱动方式 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 电湿驱动原理 | 第28-48页 |
| 3.1 电湿效应原理 | 第28-29页 |
| 3.1.1 浸润现象 | 第28页 |
| 3.1.2 电润湿基本原理 | 第28-29页 |
| 3.2 新的液体接触角的测量方法 | 第29-37页 |
| 3.2.1 传统的测量接触角的方法 | 第30-32页 |
| 3.2.2 结构与测量方法 | 第32-34页 |
| 3.2.3 实验与仿真设计 | 第34-36页 |
| 3.2.4 实验分析 | 第36-37页 |
| 3.3 毛细液柱的电润湿驱动原理 | 第37-44页 |
| 3.3.1 毛细现象的基本理论 | 第37-40页 |
| 3.3.2 电湿驱动内芯的结构设计 | 第40-41页 |
| 3.3.3 工作原理与参数计算 | 第41-44页 |
| 3.4 毛细液柱的电润湿驱动实验 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 光开关节点的仿真与制作 | 第48-61页 |
| 4.1 光开关单元工作原理的仿真 | 第48-51页 |
| 4.1.1 光开关节点“开”“关”仿真 | 第48-51页 |
| 4.2 毛细管通道中液柱运动情况分析 | 第51-55页 |
| 4.3 波导矩阵的制作及其节点的测试 | 第55-60页 |
| 4.3.1 光刻掩膜版的制作 | 第56-57页 |
| 4.3.2 软光刻 | 第57-59页 |
| 4.3.3 波导矩阵节点的测试 | 第59-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 硕士学位期间撰写的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
