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基于MEMS技术的三相栅式位移传感器关键技术的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
1 绪论第9-15页
   ·本课题的背景、来源及意义第9-10页
   ·位移传感器的国内外研究现状第10-13页
   ·本文的主要研究内容第13-15页
2 三种栅式位移传感器原理分析第15-29页
   ·引言第15页
   ·光栅位移传感器的测量原理第15-19页
     ·光栅位移传感器的莫尔条纹第15-17页
     ·光栅的相位调制工作方式第17-18页
     ·光栅的非调制工作方式第18-19页
   ·感应同步器的测量原理第19-22页
     ·感应同步器的鉴幅工作方式第20-21页
     ·感应同步器的鉴相工作方式第21-22页
   ·时栅位移传感器的测量原理第22-26页
     ·时空坐标转换理论和时空坐标转换系统第22-24页
     ·场式时栅位移传感器第24-26页
   ·时栅位移传感器与非调制式光栅及鉴相式感应同步器的比较第26-28页
 本章小结第28-29页
3 新型栅式位移传感器的测量原理和结构设计第29-43页
   ·新型栅式位移传感器测量原理第29-34页
     ·感应同步器感应信号的谐波分析第29-32页
     ·新型栅式位移传感器的感应电势解调与位置检测第32-34页
   ·新型栅式位移传感器结构设计第34-37页
     ·转子绕组的结构设计第34-35页
     ·定子绕组的结构设计第35-37页
     ·新型栅式位移传感器结构布局的优点第37页
   ·新型栅式位移传感器绕组设计与加工制作第37-42页
     ·绕组设计第37-39页
     ·绕组加工工艺第39-42页
 本章小结第42-43页
4 新型栅式位移传感器测量系统的设计第43-53页
   ·激励电源第43-47页
     ·激励电源频率的选择第44页
     ·滤波电路第44-46页
     ·移相电路第46-47页
   ·信号处理电路第47-50页
     ·信号调理电路第47-49页
     ·数字信号处理电路第49-50页
     ·显示电路第50页
   ·电磁兼容设计第50-51页
   ·软件设计第51-52页
 本章小结第52-53页
5 新型栅式位移传感器的实验研究第53-63页
   ·新型栅式位移传感器的实验系统第53-57页
     ·实验装置的设计第54页
     ·实验装置的安装第54-55页
     ·定子和激励电源的连接方式第55-57页
   ·实验研究第57-59页
     ·稳定性测试第57-58页
     ·精度实验第58-59页
   ·数据采样与处理第59-62页
     ·整周随机采样第59-60页
     ·对极内采样与拟合处理第60-62页
     ·整周对极点采样第62页
 本章小结第62-63页
6 误差分析第63-70页
   ·三大误差第63-69页
     ·随机误差来源分析第63-65页
     ·系统误差分析第65-69页
   ·新型栅式位移传感器和时栅的对比第69页
 本章小结第69-70页
7 全文总结与展望第70-72页
   ·总结第70-71页
   ·展望第71-72页
致谢第72-74页
参考文献第74-78页
附录第78-94页
 1 整周随机误差值第78-82页
 2 0°~1°对极内误差值第82-84页
 3 180°~181°对极内误差第84-86页
 4 0°~1°对极内拟合误差值第86-88页
 5 180°~181°对极内拟合误差值第88-90页
 6 0°~360°整周对极点误差第90-94页
个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果第94页

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