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氧化锌钛透明半导体薄膜的制备工艺和光电性能研究

摘要第1-9页
Abstract第9-11页
第1章 文献综述第11-16页
   ·引言第11页
   ·透明导电氧化物(TCO)薄膜的基本性质第11页
   ·透明导电薄膜(TCF)的研究概况第11页
   ·透明导电薄膜的应用第11-12页
   ·ZnO薄膜的性质及掺杂体系第12-14页
   ·课题选取、研究内容及意义第14-16页
第2章 TZO薄膜的制备和表征方法第16-20页
   ·TZO薄膜的制备方法第16-17页
   ·射频磁控溅射制备TZO薄膜第17-18页
   ·透明导电薄膜的表征技术第18-19页
   ·小结第19-20页
第3章 TZO薄膜微观结构和光电综合性能的研究第20-38页
   ·Ti掺杂对ZnO薄膜性能的影响第20页
   ·衬底温度对微观结构和光电综合性能的影响第20-28页
     ·样品制备第20页
     ·样品表征第20页
     ·衬底温度对薄膜微观结构的影响第20-25页
     ·衬底温度对薄膜透过率的影响第25-26页
     ·衬底温度对薄膜电阻率的影响第26-27页
     ·衬底温度对薄膜光电综合性能的影响第27-28页
   ·溅射气压对微观结构和光电综合性能的影响第28-33页
     ·样品制备第28页
     ·溅射气压对薄膜微观结构的影响第28-30页
     ·溅射气压对薄膜透过率的影响第30-32页
     ·溅射气压对薄膜电学性质的影响第32-33页
     ·溅射气压对薄膜光电综合性能的影响第33页
   ·靶基距离对微观结构和光电综合性能的影响第33-37页
     ·样品制备第33-34页
     ·靶基距离对对薄膜微观结构的影响第34-35页
     ·靶基距离对薄膜透过率的影响第35-36页
     ·靶基距离对薄膜电阻率的影响第36页
     ·靶基距离对薄膜光电综合性能的影响第36-37页
   ·小结第37-38页
第4章 TZO薄膜的光学性质研究第38-57页
   ·前言第38页
   ·光谱拟合法第38-42页
     ·包络法计算薄膜的光学常数第38-40页
     ·遗传算法实现薄膜光学常数的反演第40-42页
   ·衬底温度对光学性质的影响第42-47页
     ·衬底温度对光学常数的影响第42-45页
     ·衬底温度对光学带隙的影响第45-47页
   ·溅射气压对光学性质的影响第47-52页
     ·溅射气压对光学常数的影响第47-51页
     ·溅射气对光学带隙的影响第51-52页
   ·靶基距离对光学性质的影响第52-56页
     ·靶基距离对光学常数的影响第52-55页
     ·靶基距离对光学带隙的影响第55-56页
   ·小结第56-57页
第5章 总结与展望第57-59页
   ·总结第57页
   ·展望第57-59页
参考文献第59-62页
致谢第62-63页
附录A(攻读学位期间所发表的学术论文目录)第63页

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