双受主施主掺杂ZnO薄膜的组织结构与性能
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·ZnO 材料的结构和基本特性 | 第10-13页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第13-17页 |
| ·ZnO 薄膜的掺杂 | 第17-20页 |
| ·选题意义及主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·选题意义 | 第20页 |
| ·主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 试验材料及方法 | 第21-24页 |
| ·材料制备及热处理 | 第21-22页 |
| ·组织结构分析 | 第22-23页 |
| ·光性能测试 | 第23页 |
| ·电性能测试 | 第23-24页 |
| 第3章 多元掺杂ZnO 薄膜的显微组织结构 | 第24-53页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·多元掺杂ZnO 薄膜的表面形貌 | 第24-37页 |
| ·功率对薄膜表面形貌的影响 | 第24-25页 |
| ·气氛对薄膜表面形貌的影响 | 第25-28页 |
| ·衬底温度对薄膜表面形貌的影响 | 第28-32页 |
| ·压强对薄膜表面形貌的影响 | 第32-36页 |
| ·退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第36-37页 |
| ·多元掺杂ZnO 薄膜组织结构的化学成分 | 第37-40页 |
| ·多元掺杂ZnO 薄膜组织的结构 | 第40-47页 |
| ·功率对薄膜组织结构的影响 | 第40-42页 |
| ·气氛对薄膜组织结构的影响 | 第42-43页 |
| ·衬底温度对薄膜组织结构的影响 | 第43-45页 |
| ·压强对薄膜组织结构的影响 | 第45-46页 |
| ·退火温度对薄膜组织结构的影响 | 第46-47页 |
| ·多元掺杂ZnO 薄膜的键态结构 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 多元掺杂ZnO 薄膜的光学性能 | 第53-66页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·Ga-N 掺杂ZnO 对薄膜光学性能的影响 | 第53-59页 |
| ·功率对薄膜光学性能的影响 | 第53-54页 |
| ·气氛对薄膜光学性能的影响 | 第54-56页 |
| ·衬底温度对薄膜光学性能的影响 | 第56-57页 |
| ·压强对薄膜光学性能的影响 | 第57-58页 |
| ·退火温度对薄膜光学性能的影响 | 第58-59页 |
| ·Ag-Ga-N 掺杂ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第59-62页 |
| ·衬底温度对薄膜光学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·压强对薄膜光学性能的影响 | 第60-62页 |
| ·退火温度对薄膜光学性能的影响 | 第62页 |
| ·多元掺杂ZnO 薄膜的发光机制 | 第62-65页 |
| ·禁带宽度的计算 | 第62-63页 |
| ·杂质能级的计算 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 多元掺杂ZnO 薄膜的电学性能 | 第66-75页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·Ga-N 掺杂ZnO 薄膜电学性能 | 第66-70页 |
| ·功率对薄膜电学性能的影响 | 第66-67页 |
| ·气氛对薄膜电学性能的影响 | 第67-68页 |
| ·衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第68-69页 |
| ·压强对薄膜电学性能的影响 | 第69-70页 |
| ·Ag-Ga-N 掺杂ZnO 薄膜电学性能的影响 | 第70-74页 |
| ·衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第70-72页 |
| ·压强对薄膜电学性能的影响 | 第72-73页 |
| ·退火温度对薄膜电学性能的影响 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
