半导体行业特种气体气源柜研发
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题研究的背景及发展趋势 | 第8页 |
| ·特种气体气源柜在半导体行业的应用 | 第8-10页 |
| ·大规模供气系统 | 第8-9页 |
| ·中等规模供气系统 | 第9页 |
| ·小规模供气系统 | 第9-10页 |
| ·研究意义 | 第10-11页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 2 气源柜总体方案设计 | 第13-39页 |
| ·气源柜总体构思 | 第13-24页 |
| ·气源柜功能构思 | 第13页 |
| ·柜体造型设计方案构思 | 第13-16页 |
| ·柜内面板气路流程图构思 | 第16-24页 |
| ·气源柜结构总体设计 | 第24-38页 |
| ·柜体结构设计 | 第24-33页 |
| ·气源柜面板管阀件的布局设计 | 第33-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 气源柜控制面板的设计 | 第39-58页 |
| ·设计要求 | 第39页 |
| ·管道规格的确定 | 第39-41页 |
| ·流量和管道内径的关系 | 第39-40页 |
| ·压力和管道皮厚的关系 | 第40-41页 |
| ·主要部件的选用 | 第41-52页 |
| ·减压器 | 第41-43页 |
| ·隔膜截止阀 | 第43-45页 |
| ·单向阀 | 第45-46页 |
| ·过滤器 | 第46-48页 |
| ·压力表 | 第48-49页 |
| ·安全阀 | 第49-50页 |
| ·真空发生器 | 第50-52页 |
| ·材料的选择 | 第52-54页 |
| ·管路系统的连接方式 | 第54-56页 |
| ·管路系统的吹扫 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 气源柜的性能测试 | 第58-64页 |
| ·气源柜柜体的性能测试和评价 | 第58页 |
| ·气源柜控制面板的性能测试和评价 | 第58-60页 |
| ·气源柜整体方案的改进 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 附录A 气源柜操作说明书 | 第67-69页 |
| 附录B 压力单位换算表 | 第69-70页 |
| 附录C 实用新型专利 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
