| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·激光干涉仪的发展现状 | 第12-13页 |
| ·单频激光干涉系统的研究现状 | 第13-19页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第19-20页 |
| ·课题来源 | 第20-21页 |
| 第二章 单频激光干涉仪原理及特性分析 | 第21-30页 |
| ·光的干涉原理 | 第21-22页 |
| ·相干光的获得 | 第22-25页 |
| ·激光干涉仪测长原理研究 | 第25-29页 |
| 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 单频激光干涉系统原理及光路结构 | 第30-45页 |
| ·激光干涉的琼斯矩阵理论 | 第30-35页 |
| ·两路信号单频激光干涉系统 | 第35-39页 |
| ·四路信号单频激光干涉系统的研制 | 第39-44页 |
| 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 采用四路信号预处理理论校正信号的非线性误差 | 第45-57页 |
| ·四路信号预处理方案 | 第45-46页 |
| ·实时校准最小二乘椭圆拟合算法处理方案 | 第46-53页 |
| ·实时校准最小二乘椭圆拟合算法仿真实验 | 第53-56页 |
| 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 自适应系统抗干扰方法研究 | 第57-71页 |
| ·焦平面上等倾干涉条纹能量分析 | 第57-59页 |
| ·有色噪声信号分析 | 第59-65页 |
| ·自适应系统研制方案 | 第65-66页 |
| ·自适应系统实验 | 第66-70页 |
| 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 单频激光干涉系统非线性误差的优化调校 | 第71-97页 |
| ·单频激光干涉系统非线性误差分析 | 第71-78页 |
| ·单频激光干涉系统光学元件优化调校 | 第78-84页 |
| ·单频激光干涉系统最优控制优化调校 | 第84-92页 |
| ·实验结果分析 | 第92-96页 |
| 本章小结 | 第96-97页 |
| 第七章 单频激光干涉系统高精度测量技术研究 | 第97-117页 |
| ·一种可调整光程的激光测长机 | 第97-107页 |
| ·用于测量量块尺寸的激光干涉测量方法研究 | 第107-115页 |
| 本章小结 | 第115-117页 |
| 结论 | 第117-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-124页 |
| 攻读博士期间发表论文 | 第124页 |
| 攻读博士期间参加的科研项目 | 第124页 |