| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·微纳米三坐标测量机的诞生和发展现状 | 第14-19页 |
| ·微纳米三坐标测量机的诞生 | 第14页 |
| ·微纳米三坐标测量机的特点 | 第14页 |
| ·微纳米三坐标测量机国内外发展现状 | 第14-19页 |
| ·微纳米测头的研究现状 | 第19-21页 |
| ·课题研究内容及来源 | 第21-23页 |
| ·研究内容 | 第21-22页 |
| ·课题来源 | 第22-23页 |
| 第二章 基于压电薄膜的三维谐振触发测头系统构成 | 第23-25页 |
| ·系统组成 | 第23-24页 |
| ·系统工作原理 | 第24-25页 |
| 第三章 三维谐振触发测头的构建及特性 | 第25-34页 |
| ·三维谐振触发测头的模型构建 | 第25-28页 |
| ·x、y 向模型构建 | 第25-27页 |
| ·z 向模型构建 | 第27-28页 |
| ·三维谐振触发测头的结构组成 | 第28-30页 |
| ·PVDF 薄膜作为压电谐振传感器的原理 | 第29页 |
| ·一体式光纤微测杆测球的制备 | 第29-30页 |
| ·三维谐振触发测头工作原理 | 第30-31页 |
| ·三维谐振触发测头特性测试 | 第31-34页 |
| ·PVDF 薄膜尺寸参数对测头特性的影响 | 第31-32页 |
| ·三维谐振触发测头的频谱特性 | 第32-34页 |
| 第四章 系统硬件电路设计 | 第34-53页 |
| ·系统电路结构的搭建 | 第34页 |
| ·前置放大电路设计 | 第34-36页 |
| ·振幅反馈电路设计 | 第36-37页 |
| ·相位反馈电路设计 | 第37-50页 |
| ·锁相环电路工作原理 | 第37-39页 |
| ·锁相放大器 SR830 | 第39页 |
| ·利用基于 SR830 的 SPM 系统进行参数整定 | 第39-43页 |
| ·锁相环芯片的选取 | 第43-44页 |
| ·鉴频鉴相器电路设计 | 第44-45页 |
| ·压控振荡器电路设计 | 第45-46页 |
| ·环路滤波器电路设计 | 第46-49页 |
| ·相位补偿电路设计 | 第49页 |
| ·利用基于 4046 芯片的 SPM 系统进行调试 | 第49-50页 |
| ·电路 PCB 板的制作及集成 | 第50-52页 |
| ·信号采集单元 | 第52-53页 |
| 第五章 三维纳米定位平台的搭建与控制软件的设计 | 第53-57页 |
| ·三维纳米定位平台的构成 | 第53-54页 |
| ·三维纳米定位平台的控制 | 第54-55页 |
| ·系统控制软件的总体结构框架 | 第55-57页 |
| 第六章 基于压电薄膜的三维谐振触发测头系统性能测试 | 第57-63页 |
| ·系统测性能试综述 | 第57页 |
| ·系统噪声水平测试 | 第57-58页 |
| ·三维触发定位曲线测试 | 第58-60页 |
| ·三维触发定位曲线重复性测试 | 第60-61页 |
| ·测头机械振幅及测量力的分析 | 第61-63页 |
| 第七章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·研究总结 | 第63页 |
| ·工作展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第68-69页 |
