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非极性ZnO薄膜及其异质结器件的制备与性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
第一章 引言第10-12页
第二章 文献综述第12-26页
   ·ZnO材料的基本性质与应用第12-17页
     ·ZnO的掺杂第14-15页
     ·非极性ZnO第15-17页
   ·NiO结构与性质第17-20页
     ·NiO的结构与物理性质第17-18页
     ·NiO的电学特性第18-19页
     ·NiO的其他性质第19-20页
   ·薄膜的制备方法第20页
   ·NiO/ZnO基异质结的研究进展第20-22页
   ·MgNiO薄膜及其异质结的研究进展第22-23页
   ·本文选题依据和研究内容第23-26页
第三章 实验设备与原理及实验流程与表征手段第26-32页
   ·实验设备及原理第26-28页
   ·试验流程第28-30页
     ·靶材的制备第28-29页
     ·衬底及其清洗第29页
     ·薄膜及异质结的制备过程第29-30页
   ·性能表征手段第30-32页
第四章 Li掺杂NiO薄膜的制备与性能研究第32-46页
   ·衬底温度对于Li掺杂NiO薄膜性能的影响第32-37页
     ·衬底温度对于Li掺杂NiO薄膜结构性能的影响第32-33页
     ·衬底温度对于Li掺杂NiO薄膜表面形貌的影响第33-34页
     ·衬底温度对于Li掺杂NiO薄膜光学性能的影响第34-36页
     ·衬底温度对于Li掺杂NiO薄膜电学性能的影响第36-37页
   ·沉积压强对于Li掺杂NiO薄膜性能的影响第37-42页
     ·沉积压强对于Li掺杂NiO薄膜表面形貌的影响第37-39页
     ·沉积压强对于Li掺杂NiO薄膜结构性能的影响第39页
     ·沉积压强对于Li掺杂NiO薄膜光学性能的影响第39-41页
     ·沉积压强对于Li掺杂NiO薄膜电学性能的影响第41-42页
   ·Li掺杂浓度对于NiO薄膜性能的影响第42-44页
   ·小结第44-46页
第五章 非极性ZnO基NiO/ZnO异质结制备与性能研究第46-58页
   ·非极性ZnO薄膜的制备与性能表征第46-48页
   ·非极性ZnO基NiO/ZnO异质结的制备第48-49页
   ·非极性ZnO基NiO/ZnO异质结性能的研究第49-55页
     ·Li_(0.07)Ni_(0.93)O沉积压强对NiO/ZnO异质结性能的影响第49-51页
     ·MgZnO电子阻挡层对异质结性能的影响第51-55页
   ·小结第55-58页
第六章 ZnO的取向对Mg_(0.2)Ni_(0.8)O/ZnO异质结带阶的影响第58-68页
   ·利用XPS测定异质结带阶的原理第58-59页
   ·样品的制备第59-62页
   ·XPS测定Mg_(0.2)Ni_(0.8)O/ZnO异质结的能带结构第62-67页
   ·小结第67-68页
第七章 结论第68-70页
参考文献第70-80页
致谢第80-82页
个人简历第82-84页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其他研究成果第84页

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