ZnO薄膜加速度传感器的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| §1.1 课题研究的背景 | 第8页 |
| §1.2 国内外研究历史及现状 | 第8-11页 |
| ·压电传感器 | 第9页 |
| ·气敏传感器 | 第9页 |
| ·SAW 器件 | 第9-10页 |
| ·压力传感器 | 第10页 |
| ·湿度传感器 | 第10页 |
| ·半导体紫外激光器 | 第10页 |
| ·其他应用 | 第10-11页 |
| §1.3 主要研究内容 | 第11-12页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第11页 |
| ·ZnO 薄膜压电效应的测试 | 第11页 |
| ·ZnO 薄膜压电式加速度传感器的测量电路 | 第11页 |
| ·ZnO 薄膜加速度传感器微加工工艺 | 第11-12页 |
| §1.4 论文结构 | 第12-13页 |
| 第二章 ZnO 薄膜材料的特性及制备方法 | 第13-43页 |
| §2.1 ZnO 薄膜材料特性 | 第13-14页 |
| §2.2 ZnO 薄膜的制备方法 | 第14-19页 |
| ·磁控溅射法 | 第14页 |
| ·化学气相沉积法 | 第14-16页 |
| ·喷雾热解方法 | 第16-17页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第17页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第17-18页 |
| ·分子束外延法 | 第18页 |
| ·原子层外延生长法 | 第18-19页 |
| ·其他 | 第19页 |
| §2.3 磁控溅射法制备 ZnO 薄膜及其性能 | 第19-43页 |
| ·射频磁控溅射 | 第20-21页 |
| ·溅射过程 | 第21-22页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第22-23页 |
| ·衬底温度对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第23-27页 |
| ·氧氩气氛比对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第27-30页 |
| ·溅射压力对薄膜性能的影响 | 第30-33页 |
| ·溅射功率对薄膜性能的影响 | 第33-37页 |
| ·靶距对薄膜性能的影响 | 第37-39页 |
| ·退火温度对薄膜性能的影响 | 第39-43页 |
| 第三章 ZnO 薄膜压电效应的测试 | 第43-67页 |
| §3.1 压电系数和电滞回线测量研究概况 | 第43-44页 |
| §3.2 压电系数及电滞回线的测量方法 | 第44-57页 |
| ·压电学基础 | 第44-46页 |
| ·压电系数测量方法 | 第46-51页 |
| ·电滞回线 | 第51-55页 |
| ·电滞回线的测量 | 第55-57页 |
| §3.3 压电系数测量及结果分析 | 第57-61页 |
| ·压电系数测量原理 | 第57-58页 |
| ·压电系数测量方案 | 第58-60页 |
| ·测量结果分析 | 第60-61页 |
| §3.4 电滞回线测量及分析 | 第61-67页 |
| ·电滞回线测量系统 | 第61页 |
| ·电滞回线补偿原理 | 第61-66页 |
| ·测量结果分析 | 第66-67页 |
| 第四章 压电式加速度传感器的测量电路 | 第67-88页 |
| §4.1 压电式加速度传感器的动态测量系统 | 第67-68页 |
| §4.2 压电加速度传感器的测量电路 | 第68-75页 |
| ·压电加速度传感器的工作原理 | 第68-70页 |
| ·压电加速度传感器的等效电路 | 第70-71页 |
| ·压电加速度传感器的测量电路 | 第71-75页 |
| §4.3 电荷放大器的电路实现 | 第75-88页 |
| ·电荷放大器的基本原理 | 第75-79页 |
| ·电荷放大器的设计 | 第79-88页 |
| 第五章 ZnO 薄膜加速度传感器微加工工艺 | 第88-96页 |
| §5.1 MEMS 技术 | 第88-89页 |
| §5.2 微悬臂梁基本结构和工作原理 | 第89页 |
| §5.3 微悬臂梁结构传感器的设计 | 第89-91页 |
| §5.4 压电微力传感器电荷量-力转换方程 | 第91-94页 |
| §5.5 压电传感器性能分析 | 第94-96页 |
| 第六章 结论和展望 | 第96-97页 |
| §6.1 结论 | 第96页 |
| §6.2 展望 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第102页 |
