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AlGaN/GaN超晶格红外/紫外双色光电探测器研究

作者简介第1-4页
摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-10页
第一章 绪论第10-22页
   ·研究背景及意义第10-16页
     ·GaN 材料的极化效应第10-12页
     ·GaN 基紫外/红外光电探测第12-16页
   ·GaN 基紫外/红外光电探测的发展现状第16-19页
   ·本文的研究内容和安排第19-22页
第二章 AlGaN/GaN 超晶格仿真第22-50页
   ·AlGaN/GaN 超晶格的计算第22-30页
     ·方形势阱中粒子的运动特性第22-25页
     ·薛定谔-泊松方程的自洽求解第25-26页
     ·AlGaN/GaN 超晶格中的极化计算第26-30页
   ·AlGaN/GaN 超晶格中的掺杂第30-35页
   ·势垒和势阱层结构参数的影响第35-47页
     ·GaN 势垒参数的影响第35-37页
     ·势垒层的宽度与 Al 组分第37-40页
     ·缓冲层和帽层的选择第40-45页
     ·温度第45-47页
   ·本章小结第47-50页
第三章 AlGaN/GaN 超晶格材料的外延生长及表征第50-78页
   ·MOCVD 系统第50-57页
     ·MOCVD 生长 GaN 的物化过程第50-51页
     ·GaN 薄膜生长模式第51-53页
     ·GaN 薄膜外延生长的工艺流程第53-57页
   ·MOCVD 系统介绍第57-59页
   ·材料表征第59-69页
     ·高分辨 X 射线衍射仪(HRXRD)第59-63页
     ·HRXRD 实验数据分析第63-69页
   ·原子力显微镜测试结果分析第69-72页
   ·TEM 测试结果分析第72-75页
   ·本章小结第75-78页
第四章 AlGaN/GaN 超晶格红外/紫外光学特性第78-112页
   ·AlGaN/GaN 选择吸收定则第78-83页
   ·样片的制备第83-89页
   ·AlGaN/GaN 超晶格红外吸收特性测试第89-106页
     ·测试平台第89-91页
     ·探测波长的选择第91-93页
     ·AlGaN/GaN 超晶格红外吸收光谱第93-106页
   ·AlGaN/GaN 紫外吸收特性第106-110页
     ·PL 谱介绍[8]第106-107页
     ·常温 PL 谱第107-108页
     ·低温 PL 谱第108-110页
   ·本章小结第110-112页
第五章 AlGaN/GaN 超晶格电学特性第112-120页
   ·AlGaN/GaN 超晶格界面受主型陷阱第112-117页
   ·AlGaN/GaN 超晶格实现 2DHG第117-118页
   ·本章小结第118-120页
第六章 成果、不足和展望第120-122页
   ·成果和不足第120-121页
   ·AlGaN/GaN 超晶格应用前景展望第121-122页
致谢第122-124页
参考文献第124-134页
作者攻读博士期间的研究成果和参加的科研项目第134-136页
 发表论文第134页
 专利授权第134-135页
 参加科研项目第135-136页

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