作者简介 | 第1-4页 |
摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-8页 |
目录 | 第8-10页 |
第一章 绪论 | 第10-22页 |
·研究背景及意义 | 第10-16页 |
·GaN 材料的极化效应 | 第10-12页 |
·GaN 基紫外/红外光电探测 | 第12-16页 |
·GaN 基紫外/红外光电探测的发展现状 | 第16-19页 |
·本文的研究内容和安排 | 第19-22页 |
第二章 AlGaN/GaN 超晶格仿真 | 第22-50页 |
·AlGaN/GaN 超晶格的计算 | 第22-30页 |
·方形势阱中粒子的运动特性 | 第22-25页 |
·薛定谔-泊松方程的自洽求解 | 第25-26页 |
·AlGaN/GaN 超晶格中的极化计算 | 第26-30页 |
·AlGaN/GaN 超晶格中的掺杂 | 第30-35页 |
·势垒和势阱层结构参数的影响 | 第35-47页 |
·GaN 势垒参数的影响 | 第35-37页 |
·势垒层的宽度与 Al 组分 | 第37-40页 |
·缓冲层和帽层的选择 | 第40-45页 |
·温度 | 第45-47页 |
·本章小结 | 第47-50页 |
第三章 AlGaN/GaN 超晶格材料的外延生长及表征 | 第50-78页 |
·MOCVD 系统 | 第50-57页 |
·MOCVD 生长 GaN 的物化过程 | 第50-51页 |
·GaN 薄膜生长模式 | 第51-53页 |
·GaN 薄膜外延生长的工艺流程 | 第53-57页 |
·MOCVD 系统介绍 | 第57-59页 |
·材料表征 | 第59-69页 |
·高分辨 X 射线衍射仪(HRXRD) | 第59-63页 |
·HRXRD 实验数据分析 | 第63-69页 |
·原子力显微镜测试结果分析 | 第69-72页 |
·TEM 测试结果分析 | 第72-75页 |
·本章小结 | 第75-78页 |
第四章 AlGaN/GaN 超晶格红外/紫外光学特性 | 第78-112页 |
·AlGaN/GaN 选择吸收定则 | 第78-83页 |
·样片的制备 | 第83-89页 |
·AlGaN/GaN 超晶格红外吸收特性测试 | 第89-106页 |
·测试平台 | 第89-91页 |
·探测波长的选择 | 第91-93页 |
·AlGaN/GaN 超晶格红外吸收光谱 | 第93-106页 |
·AlGaN/GaN 紫外吸收特性 | 第106-110页 |
·PL 谱介绍[8] | 第106-107页 |
·常温 PL 谱 | 第107-108页 |
·低温 PL 谱 | 第108-110页 |
·本章小结 | 第110-112页 |
第五章 AlGaN/GaN 超晶格电学特性 | 第112-120页 |
·AlGaN/GaN 超晶格界面受主型陷阱 | 第112-117页 |
·AlGaN/GaN 超晶格实现 2DHG | 第117-118页 |
·本章小结 | 第118-120页 |
第六章 成果、不足和展望 | 第120-122页 |
·成果和不足 | 第120-121页 |
·AlGaN/GaN 超晶格应用前景展望 | 第121-122页 |
致谢 | 第122-124页 |
参考文献 | 第124-134页 |
作者攻读博士期间的研究成果和参加的科研项目 | 第134-136页 |
发表论文 | 第134页 |
专利授权 | 第134-135页 |
参加科研项目 | 第135-136页 |