| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| ·光谱仪器与同步辐射单色器概述 | 第13-14页 |
| ·衍射光栅概述 | 第14-21页 |
| ·衍射光栅的发展历程 | 第14-15页 |
| ·衍射光栅类型及典刑光学系统 | 第15-21页 |
| ·衍射光栅的检测技术概述 | 第21-23页 |
| ·光栅波面像差检测 | 第21页 |
| ·光栅槽形的检测 | 第21-22页 |
| ·光栅线密度检测 | 第22页 |
| ·光栅光谱分辨本领检测 | 第22-23页 |
| ·光栅衍射效率检测 | 第23页 |
| ·光栅杂散光检测 | 第23页 |
| ·衍射光栅的应用 | 第23-24页 |
| ·光栅光潜仪 | 第23-24页 |
| ·同步辐射光栅单色器 | 第24页 |
| ·本文研究工作 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-31页 |
| 第2章 凹面变线距光栅像差理论 | 第31-47页 |
| ·凹面光栅像差理论介绍 | 第31-38页 |
| ·凹面变线距光栅像差理论介绍 | 第38-40页 |
| ·光栅光学系统性能评价及模拟 | 第40-43页 |
| ·光谱分辨率分析 | 第40-42页 |
| ·光学追迹 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43页 |
| 参考文献 | 第43-47页 |
| 第3章 凹面变线距光栅的二维刻线密度测试 | 第47-69页 |
| ·光栅二维线密度测试的意义 | 第47-48页 |
| ·基本测试方法简介 | 第48-50页 |
| ·干涉测量法 | 第48页 |
| ·Moire条纹量法 | 第48-49页 |
| ·LTP测量法 | 第49页 |
| ·衍射法 | 第49-50页 |
| ·二维线密度测试系统搭建 | 第50-59页 |
| ·测试系统部件介绍 | 第51-54页 |
| ·测量系统的准直与安装 | 第54-55页 |
| ·精度分析 | 第55-59页 |
| ·实验与数据处理 | 第59-65页 |
| ·球面光栅一维线密度测试 | 第59-61页 |
| ·凹而变线距光栅二维线密度测试 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 第4章 凹面变线距光栅光谱仪高精度波长标定方法研究 | 第69-87页 |
| ·引言 | 第69-71页 |
| ·标定光源介绍 | 第71-74页 |
| ·空心阴极灯 | 第71-72页 |
| ·潘宁放电光源 | 第72-73页 |
| ·特种光源 | 第73-74页 |
| ·实验系统搭建 | 第74-77页 |
| ·光学系统 | 第74-76页 |
| ·探测器 | 第76-77页 |
| ·基于光学参数拟合的波长标定方法 | 第77-79页 |
| ·实验及数据处理 | 第79-83页 |
| ·选择标准谱线 | 第79-80页 |
| ·确定标准谱线中心位置 | 第80页 |
| ·波长标定 | 第80-82页 |
| ·光学系统实际参数 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 第5章 软X射线平场光谱仪的研制 | 第87-115页 |
| ·引言 | 第87-89页 |
| ·光学方案设计 | 第89-99页 |
| ·总体设计 | 第89-91页 |
| ·分光系统设计 | 第91-93页 |
| ·聚焦曲线 | 第93-94页 |
| ·光谱分辨率 | 第94-98页 |
| ·空间分辨 | 第98-99页 |
| ·仪器设计 | 第99-107页 |
| ·结构设计 | 第99-101页 |
| ·关键部件 | 第101-107页 |
| ·离线调试与实验 | 第107-111页 |
| ·分辨率测试 | 第108-110页 |
| ·波长标定 | 第110-111页 |
| ·本章小结 | 第111页 |
| 参考文献 | 第111-115页 |
| 第6章 总结与展望 | 第115-117页 |
| ·本文主要工作及创新点 | 第115页 |
| ·不足与展望 | 第115-117页 |
| 在读期间参与的研究课题 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-121页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第121-122页 |