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(Li,N)共掺p-ZnO薄膜:制备、性能及p-n结研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-31页
   ·ZnO的基本性质第9-10页
   ·ZnO薄膜的制备方法及测试技术第10-24页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第11-12页
     ·原子层沉积(ALD)第12-13页
     ·磁控溅射第13-15页
     ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)第15-16页
     ·X射线衍射(XRD)第16-17页
     ·电学测量第17-19页
     ·扫描电镜(SEM)第19-20页
     ·光学测量第20-22页
     ·紫外可见分光光度计(UV-Vis spectroscopy)第22-24页
   ·p型ZnO的研究进展第24-26页
   ·本论文的研究内容及意义第26-27页
   ·本章小结第27页
 参考文献第27-31页
第二章 不同氮气压下(Li,N):ZnO薄膜结构及性能研究第31-48页
   ·样品制备第31-32页
   ·不同氮气压下的(Li,N):ZnO-0.1%实验结果及分析第32-39页
     ·样品结构分析第32-35页
     ·样品的形貌分析第35-36页
     ·电学性能分析第36-38页
     ·样品的光致发光性质分析第38-39页
   ·不同氮气压下制备的(Li,N):ZnO-0.05%样品分析第39-45页
     ·结构分析第39-40页
     ·透射光谱分析第40-42页
     ·光学性质分析第42-45页
   ·本章小结第45页
 参考文献第45-48页
第三章 低N条件下Li含量对ZnO薄膜结构和激子发光的影响第48-59页
   ·样品制备方法第48页
   ·实验结果及分析第48-56页
     ·样品结构分析第48-49页
     ·光学性能分析第49-52页
     ·发光的物理过程分析第52-54页
     ·样品电学性质检测第54-55页
     ·Li-N共掺杂机理探讨第55-56页
   ·本章小结第56-57页
 参考文献第57-59页
第四章 ZnO同质p-n结的制备及研究第59-77页
   ·金属-半导体接触类型第59-63页
     ·欧姆接触第61-62页
     ·肖特基接触第62-63页
   ·p-n结原理第63-64页
   ·实验过程第64-65页
   ·实验结果及分析第65-72页
     ·结构分析第65-67页
     ·电极测试第67-68页
     ·电学分析第68-69页
     ·p-n结的光学特性第69-72页
   ·本章小结第72-73页
 参考文献第73-77页
第五章 总结第77-79页
致谢第79-80页
攻读博士期间发表论文情况第80-81页

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