| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·GaN 功率器件和模块的发展简介 | 第10-12页 |
| ·本论文任务 | 第12-14页 |
| 第二章 AlGaN/GaN HEMT 器件概述 | 第14-22页 |
| 第三章 GaN HEMT 微波功率器件的制作 | 第22-30页 |
| ·工艺流程 | 第22页 |
| ·GaN HEMT 微波功率器件制作的关键工艺 | 第22-27页 |
| ·欧姆接触 | 第23-24页 |
| ·肖特基栅 | 第24-25页 |
| ·空气桥互连 | 第25-27页 |
| ·GaN HEMT 微波功率器件的测试 | 第27-30页 |
| 第四章 微波阻抗匹配理论 | 第30-50页 |
| ·微波传输理论 | 第30-34页 |
| ·阻抗匹配理论 | 第30-31页 |
| ·微波传输下的匹配电路 | 第31-34页 |
| ·微波电路阻抗匹配技术原理 | 第34-50页 |
| ·功率匹配简介 | 第34-35页 |
| ·射频/微波匹配原理 | 第35-37页 |
| ·匹配电路 | 第37-50页 |
| 第五章 功率分配器与合成器 | 第50-60页 |
| ·功率分配器的基本原理 | 第50-52页 |
| ·功率分配器的技术指标 | 第50-51页 |
| ·功率分配器的原理 | 第51-52页 |
| ·集总参数元件功率分配器 | 第52-54页 |
| ·等分型功率分配器 | 第52-53页 |
| ·比例型功率分配器 | 第53-54页 |
| ·分布参数功率分配器 | 第54-56页 |
| ·微带线功率分配器 | 第54-56页 |
| ·本论文威尔金森功分器设计应用 | 第56-60页 |
| 第六章 内匹配模块偏置电路 | 第60-68页 |
| ·设计的原则 | 第60-61页 |
| ·偏执电路的设计稳定性分析 | 第61-68页 |
| ·．晶体管的稳定性分析 | 第61-64页 |
| ·本论文偏置电路设计和制造 | 第64-68页 |
| 第七章 GaN HEMT 器件内匹配电路设计和制造 | 第68-78页 |
| ·GaN HEMT 器件阻抗测量 | 第68-69页 |
| ·动态阻抗法 | 第68页 |
| ·大信号S参数法 | 第68页 |
| ·负载牵引法 | 第68-69页 |
| ·Load-Pull 负载牵引法测量 | 第69-71页 |
| ·测试原理 | 第69-70页 |
| ·阻抗测试 | 第70-71页 |
| ·内匹配模块设计和制作 | 第71-78页 |
| ·匹配原理图 | 第71-72页 |
| ·匹配电路中的元器件实现 | 第72-78页 |
| 第八章 结论 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |