| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外发展现状 | 第7-8页 |
| ·论文的意义及主要研究内容 | 第8-9页 |
| 第二章 薄膜光学的基本理论 | 第9-18页 |
| ·单层薄膜 | 第9-11页 |
| ·多层薄膜 | 第11-13页 |
| ·短波通滤光片的原理 | 第13-14页 |
| ·对称膜系的等效原理 | 第14-16页 |
| ·通带波纹的压缩 | 第16-18页 |
| 第三章 膜系设计 | 第18-26页 |
| ·设计指标 | 第18页 |
| ·材料的选取 | 第18-20页 |
| ·膜系设计 | 第20-26页 |
| 第四章 薄膜工艺 | 第26-38页 |
| ·镀膜装置 | 第26-27页 |
| ·电子束蒸发 | 第27-28页 |
| ·离子源辅助沉积 | 第28-29页 |
| ·膜厚监控原理 | 第29-32页 |
| ·薄膜的生长与结构 | 第32-34页 |
| ·制备过程 | 第34-37页 |
| ·注意事项 | 第37-38页 |
| 第五章 测试结果与分析 | 第38-44页 |
| ·薄膜的检测 | 第38-42页 |
| ·误差分析 | 第42-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |