| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| ·等离子体概述 | 第10-12页 |
| ·等离子体的分类 | 第10-11页 |
| ·等离子体的应用 | 第11-12页 |
| ·等离子体的产生方式 | 第12-16页 |
| ·直流放电 | 第12-13页 |
| ·射频放电 | 第13-14页 |
| ·微波和光学放电 | 第14-16页 |
| ·等离子体的诊断方法 | 第16-22页 |
| ·光谱法 | 第16-19页 |
| ·探针法 | 第19-21页 |
| ·质谱法 | 第21-22页 |
| ·发射光谱法诊断微波 CVD 沉积金刚石等离子体的研究现状 | 第22-23页 |
| ·本工作的目的和意义 | 第23-26页 |
| 第2章 实验装置及实验方法 | 第26-34页 |
| ·高气压微波等离子体发射光谱诊断实验装置及实验方法 | 第26-29页 |
| ·高气压微波等离子体发射光谱诊断实验装置 | 第26-29页 |
| ·高气压微波等离子体发射光谱诊断实验方法 | 第29页 |
| ·溴甲烷的等离子体发射光谱诊断实验装置及实验方法 | 第29-34页 |
| ·溴甲烷的等离子体发射光谱诊断实验装置 | 第29-31页 |
| ·溴甲烷的等离子体发射光谱诊断实验方法 | 第31-34页 |
| 第3章 高气压微波氢等离子体 Balmer 线系光谱诊断测量 | 第34-40页 |
| ·氢等离子体 Balmer 线系发射光谱诊断 | 第34-35页 |
| ·Balmer 线系谱线强度 | 第35-37页 |
| ·电子激发温度 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 高气压微波等离子体 CVD 金刚石过程的发射光谱测量 | 第40-50页 |
| ·微波等离子体 CVD 基团分析 | 第40-42页 |
| ·CVD 等离子体空间分布光谱测量 | 第42-44页 |
| ·甲烷浓度对 CVD 等离子体发射光谱及金刚石形貌的影响 | 第44-47页 |
| ·甲烷浓度对 CVD 等离子体发射光谱中特征谱线的影响 | 第44-46页 |
| ·甲烷浓度对 CVD 等离子体中 C_2基团空间分布的影响 | 第46-47页 |
| ·甲烷浓度对金刚石形貌的影响 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-50页 |
| 第5章 溴甲烷的等离子体发射光谱诊断 | 第50-56页 |
| ·CH_3Br 和 N——2的等离子体发射光谱的研究 | 第50-51页 |
| ·CH_3Br 和空气的等离子体发射光谱的研究 | 第51-52页 |
| ·气压对特征峰强度的影响 | 第52-53页 |
| ·CH_3Br 浓度对特征峰强度的影响 | 第53-55页 |
| ·本章总结 | 第55-56页 |
| 第6章 论文总结与展望 | 第56-60页 |
| ·论文总结 | 第56-57页 |
| ·论文展望 | 第57-60页 |
| 参考文献 | 第60-68页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
