CSS法制备CdTe薄膜的掺杂性质研究
| 提要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-6页 |
| 第一章 引言 | 第6-23页 |
| ·太阳能光伏电池的发展概况 | 第6-7页 |
| ·薄膜太阳能电池材料的研究进展 | 第7-12页 |
| ·硅基薄膜太阳电池材料 | 第7-9页 |
| ·化合物半导体薄膜太阳电池材料 | 第9-10页 |
| ·纳米晶薄膜太阳电池材料 | 第10-11页 |
| ·第三代太阳电池 | 第11-12页 |
| ·CdTe薄膜材料的研究 | 第12-18页 |
| ·CdTe薄膜太阳能电池材料研究现状 | 第12-14页 |
| ·CdTe薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| ·CdTe薄膜的晶体结构及其掺杂研究 | 第16-18页 |
| 本文研究目的 | 第18页 |
| 参考文献 | 第18-23页 |
| 第二章 CdTe多晶薄膜的制备和测试方法 | 第23-30页 |
| ·薄膜制备 | 第23-25页 |
| ·CSS方法制备CdTe薄膜原理及系统装置 | 第23-25页 |
| ·CdTe薄膜的制备过程 | 第25页 |
| ·测试方法介绍 | 第25-29页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第26页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第26-27页 |
| ·固体紫外—可见光谱分析(UV-VIS) | 第27-28页 |
| ·光致发光谱分析(PL) | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-30页 |
| 第三章 CdTe自掺杂Te薄膜的制备及性质研究 | 第30-49页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·样品制备与测试 | 第31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-39页 |
| ·结构分析 | 第31-35页 |
| ·形貌分析 | 第35-36页 |
| ·光学性质讨论 | 第36-39页 |
| ·退火处理对CdTe:Te薄膜性质的影响 | 第39-46页 |
| ·退火过程与测试 | 第39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-46页 |
| ·本章小结 | 第46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 第四章 Cu离子注入CdTe薄膜的性质研究 | 第49-59页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·离子注入对CdTe薄膜的改性研究 | 第50-51页 |
| ·离子注入机理 | 第50页 |
| ·注入后退火处理 | 第50-51页 |
| ·实验过程及测试 | 第51页 |
| ·结果与讨论 | 第51-57页 |
| ·结构分析 | 第51-55页 |
| ·形貌分析 | 第55-56页 |
| ·光学性质分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第59-62页 |
| ·工作总结 | 第59页 |
| ·存在的问题 | 第59-60页 |
| ·后继工作展望 | 第60-62页 |
| 附录 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
