| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 引言 | 第7-18页 |
| ·SCB等离子体参数测量现状 | 第7-9页 |
| ·小尺寸等离子体的电子密度测量方法 | 第9-16页 |
| ·微波共振探针法 | 第10-11页 |
| ·原子发射光谱法 | 第11-16页 |
| ·连续光谱强度法 | 第11-12页 |
| ·谱线的Stark展宽法 | 第12-15页 |
| ·H谱线Stark展宽法 | 第12-13页 |
| ·非H谱线Stark展宽法 | 第13-15页 |
| ·Saha方程法 | 第15-16页 |
| ·小结 | 第16页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 能量输入装置、SCB及SCB等离子体的基础研究 | 第18-27页 |
| ·能量输入装置 | 第18-20页 |
| ·能量输入装置简介 | 第18页 |
| ·电容放电能量输入研究 | 第18-20页 |
| ·SCB显微观察实验 | 第20-24页 |
| ·实验所用SCB简介 | 第20页 |
| ·SCB显微观察 | 第20-24页 |
| ·SCB新桥显微观察 | 第21-22页 |
| ·SCB不同能量输入下的显微观察 | 第22-24页 |
| ·SCB等离子体的二维空间尺寸测量 | 第24-25页 |
| ·结论 | 第25-27页 |
| 3 SCB等离子体的电子密度的非H谱线Stark法测量 | 第27-36页 |
| ·SCB等离子体的发射光谱测量 | 第27-31页 |
| ·SCB等离子体在300nm-600nm的发射 | 第28-30页 |
| ·SCB等离子体在384nm-400nm的时间分辨 | 第30-31页 |
| ·SCB等离子体的电子密度的非H Stark展宽测量 | 第31-34页 |
| ·理论部分 | 第31-32页 |
| ·实验谱线Al Ⅰ 394.40nm的Lorentz拟合 | 第32-33页 |
| ·非H Stark展宽法计算结果与讨论 | 第33-34页 |
| ·局部热平衡条件有效性判断 | 第34页 |
| ·结论 | 第34-36页 |
| 4 SCB等离子体的电子密度的Saha方程法测量 | 第36-46页 |
| ·Saha方程法测量系统建立 | 第36-39页 |
| ·谱线的选择 | 第36-37页 |
| ·Saha方程法 | 第37-38页 |
| ·Saha方程法测量系统 | 第38-39页 |
| ·SCB等离子体的电子密度的Saha方程法测量 | 第39-45页 |
| ·SCB桥体材料作用过程与分析 | 第39-41页 |
| ·数据处理过程 | 第41页 |
| ·测量结果与讨论 | 第41-45页 |
| ·电容放电方式的塑料塞SCB等离子体的电子密度 | 第42-43页 |
| ·大能量输入条件下塑料塞SCB等离子体的电子密度 | 第43-44页 |
| ·电容放电方式的陶瓷塞SCB等离子体的电子密度 | 第44-45页 |
| ·结论 | 第45-46页 |
| 5 SCB等离子体的电子密度与压力方程 | 第46-52页 |
| ·理论部分 | 第46-47页 |
| ·实验部分 | 第47-50页 |
| ·数据处理过程 | 第49-50页 |
| ·压力的计算 | 第49-50页 |
| ·电子密度的计算 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-51页 |
| ·结论 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 本人硕士期间发表的论文 | 第61页 |
