| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·BST 薄膜应用热点 | 第9-11页 |
| ·热释电红外探测器工作原理及其模式 | 第11-15页 |
| ·本论文主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 钛酸锶钡研究现状 | 第16-22页 |
| ·钛酸锶钡（BST）基本结构与性质 | 第16-17页 |
| ·钛酸锶钡掺杂改性研究 | 第17-19页 |
| ·钛酸锶钡薄膜制备方法 | 第19-22页 |
| 第三章 超声雾化热解法装置及原理 | 第22-30页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·超声雾化热解技术发展 | 第22-24页 |
| ·超声雾化热解技术机理 | 第24-26页 |
| ·喷雾热解法工艺过程及其影响因素 | 第26-30页 |
| 第四章 超声雾化制备BST 薄膜 | 第30-36页 |
| ·实验原料 | 第30页 |
| ·实验设备及器材 | 第30-31页 |
| ·样品制备 | 第31-33页 |
| ·薄膜的表征手段 | 第33-36页 |
| 第五章 工艺参数对BST 薄膜结构及其形貌的影响 | 第36-54页 |
| ·BST 干凝胶的热重（TG）—差热（DSC）分析 | 第36-37页 |
| ·动力学探讨 | 第37-38页 |
| ·前驱体浓度对微观结构的影响 | 第38-41页 |
| ·载气流量对BST 薄膜微观结构和沉积速率的影响 | 第41-44页 |
| ·衬底温度对BST 薄膜微观结构和沉积速率的影响 | 第44-47页 |
| ·沉积时间对微观结构的影响 | 第47-48页 |
| ·退火温度对微观结构的影响 | 第48-51页 |
| ·掺杂CE 的BST 薄膜微观结构分析 | 第51-54页 |
| 第六章 BST 薄膜及掺杂改性薄膜的介电性能 | 第54-59页 |
| ·BST 薄膜的介电性能研究 | 第54-57页 |
| ·掺杂CE-BST 薄膜介电性能研究 | 第57-59页 |
| 第七章 结论 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表和录用的学术论文 | 第67-68页 |