| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| Contents | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·本课题的研究背景 | 第13-15页 |
| ·微细电化学加工技术的国内外研究概况 | 第15-21页 |
| ·基于电化学扫描探针显微镜进行的微细电化学加工技术 | 第15-16页 |
| ·EFAB制作技术 | 第16-18页 |
| ·约束刻蚀剂层技术(CELT技术) | 第18-19页 |
| ·微细电极、高频窄脉冲电解加工 | 第19-21页 |
| ·本课题研究概况 | 第21-23页 |
| ·研究目的和意义 | 第21页 |
| ·课题来源 | 第21-22页 |
| ·课题的研究内容及研究目标 | 第22-23页 |
| 第二章 微细电解加工的理论基础 | 第23-31页 |
| ·电解加工原理 | 第23-24页 |
| ·高频、窄脉冲电源电解加工 | 第24-25页 |
| ·微细电解等效电路分析 | 第25-26页 |
| ·加工间隙△ | 第26-28页 |
| ·电解液 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微细电解加工装备机构设计及制作 | 第31-50页 |
| ·装备设计要求 | 第31-32页 |
| ·总体设计方案选择 | 第32-33页 |
| ·水平进给机构 | 第33-38页 |
| ·水平宏运动进给机构 | 第34-35页 |
| ·微位移驱动机构 | 第35-37页 |
| ·宏微复后驱动 | 第37-38页 |
| ·竖直进给机构 | 第38-39页 |
| ·旋转主轴 | 第39-41页 |
| ·进电装置 | 第41-43页 |
| ·电解工作台 | 第43-44页 |
| ·装备机架 | 第44-46页 |
| ·装备底座与保护板 | 第46页 |
| ·供液系统 | 第46-47页 |
| ·观测装置 | 第47-48页 |
| ·装备整体结构 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 装备控制系统的开发 | 第50-64页 |
| ·宏驱动机构控制硬件 | 第50-51页 |
| ·短路监测、保护 | 第51-54页 |
| ·宏运动控制 | 第54-57页 |
| ·丝杠螺母副的间隙测定 | 第54页 |
| ·单轴宏驱动控制 | 第54-56页 |
| ·两轴联动控制 | 第56-57页 |
| ·微驱动控制 | 第57-61页 |
| ·微驱动控制原理 | 第57-58页 |
| ·微驱动机构的电压—位移特性曲线 | 第58-60页 |
| ·微驱动控制软件 | 第60-61页 |
| ·宏微复合驱动控制 | 第61-62页 |
| ·控制系统的总体结构及控制软件 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 微细电解加工实验研究 | 第64-87页 |
| ·确定控制参数的评价指标 | 第64-65页 |
| ·实验电源 | 第65页 |
| ·实验条件及控制参数确定 | 第65-72页 |
| ·电解液 | 第66-67页 |
| ·短路电压 | 第67-69页 |
| ·加工进给速度 | 第69-70页 |
| ·短路回退量 | 第70页 |
| ·电极回转速度 | 第70-71页 |
| ·微驱动机构控制参数 | 第71-72页 |
| ·微细电解加工机理研究 | 第72-78页 |
| ·电解液浓度对加工的影响 | 第72-75页 |
| ·加工峰值电压对加工的影响 | 第75-77页 |
| ·脉宽对加工的影响 | 第77-78页 |
| ·微结构加工实验 | 第78-83页 |
| ·微细孔加工 | 第79-80页 |
| ·微细轴加工 | 第80-81页 |
| ·微电解展成加工 | 第81-83页 |
| ·在线电极制作及加工 | 第83-86页 |
| ·简单形状在线电极加工 | 第84-85页 |
| ·成型反拷加工 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 结论与展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第93-94页 |
| 独创性声明 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |