| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| §1.1 纳米科技概述 | 第7-8页 |
| §1.2 扫描探针显微术及其发展 | 第8-15页 |
| §1.2.1 传统的表面科学常用分析仪器及手段 | 第8-9页 |
| §1.2.2 扫描隧道显微镜的出现 | 第9-10页 |
| §1.2.3 原子力显微镜的出现 | 第10-12页 |
| §1.2.4 在STM和AFM基础上发展的扫描探针显微镜 | 第12-15页 |
| §1.3 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 原子力显微镜原理及系统 | 第17-26页 |
| §2.1 原子力作用机理 | 第17-19页 |
| §2.2 原子力显微镜的基本原理 | 第19-20页 |
| §2.3 原子力显微镜的工作模式 | 第20-26页 |
| §2.3.1 接触模式——一般在空气和液体中 | 第20-21页 |
| §2.3.2 非接触模式 | 第21-22页 |
| §2.3.3 轻敲模式 | 第22-26页 |
| 第三章 微悬臂梁形变检测及应用受力分析 | 第26-33页 |
| §3.1 原子力显微系统的微悬臂偏转量及其检测方法 | 第26-31页 |
| §3.1.1 原子力显微系统的微悬臂及探针性能概述 | 第26-27页 |
| §3.1.2 微悬臂梁形变的检测方法 | 第27-31页 |
| §3.2 微悬臂梁工作状态时的应用受力分析 | 第31-33页 |
| §3.2.1 范德华力 | 第31页 |
| §3.2.2 液桥引起的表面张力 | 第31-32页 |
| §3.2.3 静电力 | 第32-33页 |
| 第四章 微悬臂机械性能分析 | 第33-45页 |
| §4.1 引言 | 第33-34页 |
| §4.2 应力和张力 | 第34-35页 |
| §4.3 力矩 | 第35页 |
| §4.4 弹性系数 | 第35-36页 |
| §4.5 振动悬臂的Rayleigh解 | 第36-37页 |
| §4.6 振动悬臂的经典解 | 第37-38页 |
| §4.7 微悬臂梁的动力学分析 | 第38-40页 |
| §4.7.1 微悬臂梁的振动阶段分析 | 第38-39页 |
| §4.7.2 微悬臂梁动力学模型的建立 | 第39页 |
| §4.7.3 第3阶段动力学模型的建立及接触分析 | 第39-40页 |
| §4.8 基于微悬臂梁原理的生化传感器概述 | 第40-42页 |
| §4.9 传感器所用的微悬臂梁的设计和制备 | 第42页 |
| §4.10 传感器所用的微悬臂梁的设计和制备 | 第42-43页 |
| §4.11 两种实用的悬臂梁生化传感器 | 第43-45页 |
| §4.11.1 悬臂梁气体传感器 | 第43页 |
| §4.11.2 液体生化传感器 | 第43-45页 |
| 第五章 微悬臂梁机械性能的图形仿真 | 第45-69页 |
| §5.1 引言 | 第45-46页 |
| §5.2 悬臂梁的力学特性参数 | 第46-55页 |
| §5.3 法向弹性系数的标定 | 第55-69页 |
| §5.3.1 参考悬臂梁的标定方法 | 第55-58页 |
| §5.3.2 悬臂梁的共振标定法 | 第58-67页 |
| §5.3.3 热噪声谱法 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| §6.1 总结 | 第69-70页 |
| §6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
