| 第1章 绪论 | 第1-16页 |
| 1．1 本文研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1．2 国内外发展概况 | 第9-11页 |
| 1．3 MEMS简介 | 第11-13页 |
| 1．4 MEMS传感器技术发展的特点和现状 | 第13-14页 |
| 1．5 对MEMS技术与微传感器性能间关系的认识 | 第14页 |
| 1．6 本文的课题支撑 | 第14-16页 |
| 第2章 磁悬浮硬盘的基本原理 | 第16-22页 |
| 2．1 磁悬浮硬盘的介绍及其优点 | 第16-17页 |
| 2．2 磁悬浮硬盘驱动器的工作原理 | 第17-22页 |
| 2．2．1 磁力轴承的工作原理 | 第17-21页 |
| 2．2．2 磁悬浮硬盘驱动器的工作原理 | 第21-22页 |
| 第3章 磁悬浮硬盘微型传感器的选择 | 第22-33页 |
| 3．1 磁悬浮硬盘的结构 | 第22-26页 |
| 3．2 位移传感器的选择 | 第26-28页 |
| 3．2．1 有源磁悬浮中的位移传感器的分类 | 第26-27页 |
| 3．2．2 磁悬浮硬盘微型传感器的选择 | 第27-28页 |
| 3．3 几种位移传感器的工作原理 | 第28-32页 |
| 3．3．1 电涡流式传感器 | 第28-29页 |
| 3．3．2 光反射式传感器 | 第29-30页 |
| 3．3．2 差动电感位移传感器的基本原理与结构 | 第30-32页 |
| 3．4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 微型电涡流传感器的结构设计 | 第33-40页 |
| 4．1 探头部分的设计 | 第33-38页 |
| 4．1．1 螺旋管型微线圈的分析 | 第35-36页 |
| 4．1．2 被测体材料形状和大小对线圈灵敏度的影响 | 第36-38页 |
| 4．2 微线圈在磁悬浮硬盘上的安装位置探讨 | 第38-39页 |
| 4．2．1 传感器线圈外置测位移方案 | 第38页 |
| 4．2．2 传感器线圈内置测位移方案 | 第38-39页 |
| 4．3 本章小节 | 第39-40页 |
| 第5章 微型电涡流传感器的电路设计 | 第40-45页 |
| 5．1 电涡流传感器的变换电路模型 | 第40-44页 |
| 5．1．1 电桥法 | 第40-41页 |
| 5．1．2 谐振法 | 第41-44页 |
| 5．2 本章小节 | 第44-45页 |
| 第6章 微型电涡流传感器在磁悬浮硬盘上控制策略分析 | 第45-52页 |
| 6．1 磁悬浮系统控制原理 | 第45-47页 |
| 6．1．1 磁悬浮系统的力学模型 | 第45-47页 |
| 6．1．2 磁悬浮闭环控制系统框图 | 第47页 |
| 6．2 磁悬浮硬盘的控制系统方案 | 第47-51页 |
| 6．2．1 传感器信号控制策略的选取 | 第47-50页 |
| 6．2．2 微型位移传感器信号控制方案 | 第50-51页 |
| 6．3 本章小节 | 第51-52页 |
| 第7章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 7．1 全文总结 | 第52-53页 |
| 7．2 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录 | 第58页 |