| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 前言 | 第11-13页 |
| 第1章 文献综述 | 第13-71页 |
| §1.1 引言 | 第13-19页 |
| §1.2 纳米材料的特性 | 第19-21页 |
| ·量子尺寸效应 | 第19-20页 |
| ·宏观量子隧道效应 | 第20页 |
| ·库仑阻塞效应 | 第20页 |
| ·小尺寸效应 | 第20-21页 |
| ·表面效应 | 第21页 |
| §1.3 氧化物半导体传感器的气敏机理 | 第21-31页 |
| ·肖特基接触的影响 | 第23-25页 |
| ·氧气的吸附与还原性气体的作用 | 第25-27页 |
| ·电子耗尽层 | 第27-28页 |
| ·氧空位 | 第28-29页 |
| ·晶粒大小对气敏性能的影响 | 第29-30页 |
| ·掺杂理论 | 第30-31页 |
| §1.4 氧化物半导体传感器的研究进展 | 第31-48页 |
| ·ZnO的性质 | 第32-33页 |
| ·纳米ZnO的制备方法 | 第33-36页 |
| ·ZnO气敏传感器的研究进展 | 第36-48页 |
| 参考文献 | 第48-71页 |
| 第2章 实验原理与测试仪器 | 第71-79页 |
| §2.1 实验内容 | 第71-72页 |
| §2.2 实验设备 | 第72-79页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第72页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第72-73页 |
| ·场发射扫描电镜(FESEM) | 第73-74页 |
| ·紫外可见吸收谱(UV-vis absorption spectroscopy) | 第74-75页 |
| ·旋涂机 | 第75页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR) | 第75-77页 |
| ·电学性能的测量 | 第77-79页 |
| 第3章 表面修饰的纳米ZnO气敏性能的研究 | 第79-91页 |
| §3.1 引言 | 第79-80页 |
| §3.2 传感器的制备和性能测试 | 第80-82页 |
| ·PVP修饰的ZnO纳米颗粒的制备 | 第80-81页 |
| ·薄膜型气敏元件的制备 | 第81页 |
| ·气敏性能的测试方法 | 第81-82页 |
| §3.3 结果 | 第82-87页 |
| ·紫外—可见光吸收谱 | 第82-84页 |
| ·ZnO纳米颗粒薄膜的表面形貌 | 第84页 |
| ·响应和恢复特性表征 | 第84-86页 |
| ·基于Zn~(2+)：PVP摩尔比为5：5的ZnO纳米传感器的选择性 | 第86页 |
| ·基于Zn~(2+)：PVP摩尔比为5：5的ZnO纳米传感器的重复性 | 第86-87页 |
| §3.4 讨论 | 第87-88页 |
| §3.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 第4章 过渡元素Mo的掺杂对纳米ZnO气敏性能的影响 | 第91-105页 |
| §4.1 引言 | 第91-92页 |
| §4.2 传感器的制备和性能测试 | 第92-94页 |
| ·Mo-ZnO纳米颗粒的制备 | 第92-93页 |
| ·薄膜型气敏元件的制备 | 第93-94页 |
| ·气敏性能的测试方法 | 第94页 |
| §4.3 结果 | 第94-99页 |
| ·Mo-ZnO纳米颗粒的形貌 | 第94-95页 |
| ·Mo-ZnO纳米颗粒结构的表征 | 第95页 |
| ·基于Mo-ZnO纳米颗粒传感器的选择性 | 第95-97页 |
| ·不同Mo含量对Mo-ZnO纳米颗粒NH_3敏性能的影响 | 第97-98页 |
| ·Mo含量为10％时ZnO纳米传感器的重复性 | 第98-99页 |
| §4.4 讨论 | 第99页 |
| §4.5 本章小结 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 第5章 氧化物纳米颗粒(Fe_2O_3，Mn_3O_4)掺杂对ZnO纳米颗粒气敏性能的影响 | 第105-129页 |
| §5.1 引言 | 第105-107页 |
| §5.2 Fe_2O_3的掺杂对ZnO纳米颗粒气敏性能的影响 | 第107-117页 |
| ·传感器的制备和性能测试 | 第107-109页 |
| ·Fe_2O_3-ZnO纳米颗粒的制备 | 第107-109页 |
| ·薄膜型气敏元件的制备 | 第109页 |
| ·气敏性能的测试方法 | 第109页 |
| ·结果 | 第109-117页 |
| §5.3 Mn_3O_4的掺杂对ZnO纳米颗粒气敏性能的影响 | 第117-124页 |
| ·传感器的制备和性能测试 | 第117页 |
| ·结果 | 第117-121页 |
| ·讨论 | 第121-124页 |
| §5.4 本章小结 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-129页 |
| 第6章 CdS纳米颗粒的掺杂对ZnO纳米颗粒气敏性能的影响 | 第129-139页 |
| §6.1 引言 | 第129-131页 |
| §6.2 传感器的制备与性能测试 | 第131页 |
| §6.3 结果 | 第131-136页 |
| ·CdS纳米颗粒掺杂的ZnO纳米颗粒的形貌 | 第131-132页 |
| ·结构与成分的表征 | 第132-133页 |
| ·纳米颗粒的选择性 | 第133-135页 |
| ·CdS含量对ZnO纳米颗粒的NH_3敏性能的影响 | 第135-136页 |
| ·重复性 | 第136页 |
| §6.4 讨论 | 第136-137页 |
| §6.5 本章小结 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-139页 |
| 第7章 结论 | 第139-141页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第141-143页 |
| 致谢 | 第143页 |
