大扫描范围原子力显微镜的新方法研究及系统研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| §1．1 纳米科技概述 | 第8-10页 |
| §1．2 扫描探针显微镜的发展 | 第10-14页 |
| §1．2．1 传统显微镜的出现及发展 | 第10-12页 |
| §1．2．2 扫描隧道显微镜的出现 | 第12-13页 |
| §1．2．3 原子力显微镜的出现及其发展 | 第13-14页 |
| §1．3 本课题主要研究内容及成果 | 第14-16页 |
| 第二章 原子力显微镜的基本工作原理 | 第16-34页 |
| §2．1 原子力作用机制 | 第16-21页 |
| §2．2 原子力显微镜的基本原理 | 第21-22页 |
| §2．3 原子力显微镜的工作模式 | 第22-28页 |
| §2．3．1 接触模式 | 第22-23页 |
| §2．3．2 非接触模式 | 第23-25页 |
| §2．3．3 轻敲模式 | 第25-28页 |
| §2．4 微悬臂(探针)及其偏转量的检测方法 | 第28-34页 |
| §2．4．1 原子力显微镜的微悬臂及探针的性能 | 第28-30页 |
| §2．4．2 微悬臂偏转量的各种检测方法 | 第30-34页 |
| 第三章 大扫描范围原子力显微镜的新方法研究 | 第34-44页 |
| §3．1 压电陶瓷的推拉式控制方法 | 第34-38页 |
| §3．1．1 压电陶瓷简介 | 第34-36页 |
| §3．1．2 压电陶瓷的推拉式控制方法 | 第36-38页 |
| §3．2 相移式扫描控制方法及电路 | 第38-40页 |
| §3．3 基于微动平台的序列图像扫描及拼接方法 | 第40-44页 |
| 第四章 大扫描范围原子力显微镜系统的研制 | 第44-61页 |
| §4．1 大扫描范围原子力显微镜系统介绍 | 第44-45页 |
| §4．2 扫描机构的设计 | 第45-52页 |
| §4．2．1 压电陶瓷驱动器 | 第46-48页 |
| §4．2．2 驱动器进给机构 | 第48-50页 |
| §4．2．3 微动平台结构设计 | 第50-52页 |
| §4．3 扫描与反馈控制机箱 | 第52-58页 |
| §4．3．1 扫描驱动电路 | 第52-53页 |
| §4．3．2 PSD及前置放大电路 | 第53-55页 |
| §4．3．3 PID反馈控制电路 | 第55-58页 |
| §4．4 图像的获取及显示系统 | 第58-61页 |
| §4．4．1 计算机软硬件接口 | 第58-59页 |
| §4．4．2 扫描控制及图像捕获软件 | 第59-61页 |
| 第五章 系统分析及性能优化研究 | 第61-71页 |
| §5．1 压电陶瓷的非线性与迟滞效应 | 第61-63页 |
| §5．2 扫描反馈电路的精度影响 | 第63-65页 |
| §5．3 环境对扫描机构的影响 | 第65-67页 |
| §5．4 激光器及PSD性能分析 | 第67-71页 |
| 第六章 大扫描范围原子力显微镜的应用研究 | 第71-78页 |
| §6．1 光栅的纳米结构图像 | 第71-73页 |
| §6．2 多孔氧化铝的纳米结构图像 | 第73-75页 |
| §6．3 序列图像拼接的光栅纳米结构图像 | 第75-76页 |
| §6．4 系统性能总结 | 第76-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-80页 |
| §7．1 总结 | 第78-79页 |
| §7．2 课题工作展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
