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GaAs、GaSb基材料生长及其器件研究

第一章 引言第1-14页
第二章 GaSb中红外量子阱材料结构设计、分子束外延及其光学性能第14-57页
   ·中红外锑化物量子阱半导体激光器第16-24页
     ·量子阱、超晶格第17-19页
     ·中红外锑化物量子阱半导体激光器研究现状第19-24页
   ·分子束外延第24-28页
   ·存在问题第28-29页
   ·In_(0.35)Ga(0.65)Sb/In(0.35)Ga_0.65)As(0.1)Sb(0.9)/In(0.35)Ga(0.65)Sb/Al(0.35)Ga(0.65)Sb量子阱设计第29-40页
     ·晶格常数和晶格失配第31-34页
     ·禁带宽度第34-36页
     ·量子阱能带结构第36-40页
   ·分子束外延生长第40-47页
     ·分子束外延生长工艺第41-43页
     ·生长速率和束流的测量、校准第43-45页
     ·Ⅴ/Ⅲ束流比第45页
     ·衬底生长温度第45-46页
     ·量子阱结构生长第46-47页
   ·量子阱的光致发光第47-51页
     ·快门开关顺序对量子阱光致发光的影响第47-48页
     ·外延层厚度对量子阱光致发光的影响第48-51页
     ·不同温度和激发功率下的量子阱光致发光特性第51页
   ·结论第51-52页
 参考文献第52-57页
第三章 A1GaInP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)研究第57-85页
   ·异质结双极晶体管第57-62页
     ·异质结特性第57-59页
     ·异质结双极晶体管原理第59-61页
     ·异质结双极晶体管特性第61-62页
   ·AlGaInP/GaAs HBT第62-63页
   ·存在问题第63-66页
   ·AlGaInP/GaAs HBT制备第66-70页
     ·AlGaInP/GaAs HBT工艺第67-70页
   ·电学特性的测量第70-71页
   ·集电结能带结构第71-75页
   ·AlGaInP/GaAs HBT的电学性能第75-81页
     ·AlGaInP/GaAs HBT输出特性第75-78页
     ·AlGaInP/GaAs HBT Gummel图第78页
     ·AlGaInP/GaAs HBT的开启电压第78-81页
   ·结论第81-82页
 参考文献第82-85页
第四章 欧姆接触电阻率测试仪研制及GaAs欧姆接触研究第85-115页
   ·金属-半导体接触第85-94页
     ·金属-半导体接触原理第85-87页
     ·接触电阻率第87-89页
     ·欧姆接触的质量评价第89-90页
     ·金属-Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体欧姆接触的制作第90-92页
     ·n-GaAs的欧姆接触第92-94页
   ·欧姆接触电阻率测试仪研制第94-105页
     ·各欧姆接触电阻率测试方法原理第95-101页
     ·欧姆接触电阻率测试仪结构第101-103页
     ·欧姆接触电阻率测试程序第103-105页
   ·~(29)Si~+注入n-GaAs欧姆接触研究第105-111页
     ·~(29)Si~+注入n-GaAs制备第105-107页
     ·~(29)Si~+注入n-GaAs欧姆接触流片工艺第107-110页
     ·~(29)Si~+注入n-GaAs欧姆接触电阻率第110-111页
   ·小结第111-112页
 参考文献第112-115页
第五章 结论第115-117页
发表文章第117-118页
个人简介第118-119页
致谢第119页

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