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金刚石薄膜磁阻效应及相关问题的研究

中文摘要                 第1-5页
英文摘要                第5-10页
1 绪论第10-24页
 1.1 磁阻效应的研究和应用进展第10-15页
  1.1.1 磁阻效应和霍尔效应简介第10-12页
  1.1.2 磁阻效应的应用第12-13页
  1.1.3 磁阻元件和磁阻材料的研究进展第13-15页
 1.2 金刚石薄膜的结构、特性及其应用概况第15-19页
  1.2.1 金刚石的结构第15-16页
  1.2.2 金刚石膜的特性与应用第16-19页
 1.3 金刚石薄膜半导体器件和相关技术第19-21页
 1.4 金刚石膜磁阻效应的研究概况第21-22页
 1.5 本文的研究内容、创新点和意义第22-24页
2 金刚石膜磁阻效应的实验研究第24-32页
 2.1 金刚石薄膜的制备第24-25页
 2.2 金刚石薄膜样品分析第25-27页
  2.2.1 金刚石薄膜的SEM形貌第25-26页
  2.2.2 金刚石薄膜的拉曼光谱第26-27页
 2.3 磁阻器件的制备第27-28页
 2.4 磁阻效应实验装置介绍第28-29页
 2.5 实验结果及其分析第29-31页
 2.6 小结第31-32页
3 金刚石膜磁阻效应的理论研究第32-53页
 3.1 磁阻效应的基本理论第32-38页
  3.1.1 电流密度和电导率第32-35页
  3.1.2 霍尔效应第35-36页
  3.1.3 磁阻效应第36页
  3.1.4 球等能面时的电导率、霍尔系数和磁阻效应第36-38页
 3.2 金刚石膜磁阻效应的理论研究第38-43页
  3.2.1 金刚石膜的电导率第39-40页
  3.2.2 条形金刚石膜的磁阻效应第40-43页
  3.2.3 圆盘金刚石膜的磁阻效应第43页
 3.3 数值计算和结果分析第43-51页
  3.3.1 理论计算结果和实验结果的比较第44-45页
  3.3.2 表面散射对磁阻效应的影响第45-46页
  3.3.3 各空穴带对磁阻效应的影响第46-47页
  3.3.4 薄膜厚度对磁阻效应的影响第47-48页
  3.3.5 霍尔效应第48-49页
  3.3.6 几何形状对磁阻效应的影响第49-51页
 3.4 小结第51-53页
4 金刚石膜压阻效应的理论第53-67页
 4.1 金刚石膜的压阻效应及其特性第53-55页
  4.1.1 金刚石膜压阻效应的研究概况第53-54页
  4.1.2 金刚石膜压阻效应的特性第54-55页
 4.2 价带分裂模型与压阻效应理论第55-58页
  4.2.1 价带分裂模型第55-57页
  4.2.2 压阻效应理论第57-58页
 4.3 数值计算和结果分析第58-60页
  4.3.1 微应变时的压阻效应第58-59页
  4.3.2 大应变时的压阻效应第59-60页
  4.3.3 能带结构对压阻效应的影响第60页
 4.4 金刚石膜磁阻效应和压阻效应理论的统一第60-62页
 4.5 磁场中的压阻效应第62-66页
  4.5.1 磁场对电阻率的影响第62-63页
  4.5.2 磁场对压阻效应的影响第63-66页
 4.6 小结第66-67页
5 应力对金刚石膜磁阻效应的影响第67-76页
 5.1 应力对电阻率的影响第67-70页
 5.2 价带形变对磁阻的影响第70-75页
  5.2.1 价带分裂及其对磁阻的影响第70-73页
  5.2.2 分裂带间距的变化对磁阻的影响第73-75页
 5.3 小结第75-76页
6 金刚石膜磁阻随温度变化的机理研究第76-85页
 6.1 金刚石膜的内应力第76-78页
 6.2 价带分裂的温度变化模型第78-79页
 6.3 磁阻随温度变化的机理研究第79-82页
 6.4 压阻效应随温度的变化第82-84页
 6.5 小结第84-85页
7 总结与展望第85-88页
 7.1 全文总结第85-86页
 7.2 后续研究工作及其应用展望第86-88页
致谢第88-89页
参考文献第89-102页
附:作者在攻读博士学位期间撰写和发表的论文目录第102-103页

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