| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 前言 | 第8-14页 |
| 第一章 Fe－Ni合金电镀 | 第14-29页 |
| §1．1 引言 | 第14-16页 |
| §1．2 电镀工艺 | 第16-18页 |
| §1．2．1 电镀装置设计 | 第16-17页 |
| §1．2．2 电镀溶液配制 | 第17-18页 |
| §1．3 电镀质量问题分析 | 第18-22页 |
| §1．3．1 外观不良 | 第18-19页 |
| §1．3．2 起皮问题 | 第19页 |
| §1．3．3 镀层组份问题 | 第19-20页 |
| §1．3．4 镀层粗糙 | 第20-22页 |
| §1．3．5 镀层厚度不均匀 | 第22页 |
| §1．3．6 镀层气孔 | 第22页 |
| §1．3．7 小结 | 第22页 |
| §1．4 Fe－Ni合金反常电镀 | 第22-27页 |
| §1．4．1 Fe－Ni合金共沉积原理 | 第22-23页 |
| §1．4．2 Fe－Ni合金反常电镀规律 | 第23-27页 |
| §1．5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第一章参考文献 | 第28-29页 |
| 第二章 Fe－Ni合金电镀沉积膜的材料性能 | 第29-67页 |
| §2．1 引言 | 第29-32页 |
| §2．2 应力 | 第32-41页 |
| §2．2．1 实验方法 | 第34-37页 |
| §2．2．2 实验结果和讨论 | 第37-41页 |
| §2．3 热膨胀特性 | 第41-51页 |
| §2．3．1 实验方法 | 第41-42页 |
| §2．3．2 实验结果和讨论 | 第42-51页 |
| §2．4 内耗 | 第51-58页 |
| §2．4．1 实验方法 | 第51-56页 |
| §2．4．2 实验结果和讨论 | 第56-58页 |
| §2．5 杨氏模量 | 第58-65页 |
| §2．5．1 实验方法 | 第59-61页 |
| §2．5．2 实验结果和讨论 | 第61-65页 |
| §2．6 本章小结 | 第65-66页 |
| 第二章参考文献 | 第66-67页 |
| 第三章 利用准LIGA技术制作Fe－Ni合金微结构 | 第67-90页 |
| §3．1 引言 | 第67-68页 |
| §3．2 自对准的准LIGA技术 | 第68-71页 |
| §3．2．1 自对准的准LIGA技术的特色 | 第69-70页 |
| §3．2．2 自对准的准LIGA技术的基本工艺 | 第70-71页 |
| §3．3 Fe－Ni合金电铸 | 第71-87页 |
| §3．3．1 厚型胶膜制备 | 第72-79页 |
| §3．3．2 Fe－Ni合金电铸工艺流程 | 第79-83页 |
| §3．3．3 结果和讨论 | 第83-87页 |
| §3．4 本章小结 | 第87-89页 |
| 第三章参考文献 | 第89-90页 |
| 第四章 微机械陀螺 | 第90-119页 |
| §4．1 引言 | 第90-98页 |
| §4．1．1 陀螺的发展 | 第90-92页 |
| §4．1．2 振动式陀螺的分类 | 第92-96页 |
| §4．1．3 振动式陀螺的驱动和检测 | 第96-97页 |
| §4．1．4 微机械陀螺的前景 | 第97-98页 |
| §4．2 振子－框架式微机械陀螺 | 第98-117页 |
| §4．2．1 振子－框架式微机械陀螺的基本结构 | 第98-99页 |
| §4．2．2 振子－框架式陀螺同双框架陀螺和梳状陀螺的比较 | 第99-101页 |
| §4．2．3 陀螺的驱动 | 第101-103页 |
| §4．2．4 陀螺的传输特性 | 第103-106页 |
| §4．2．5 陀螺的阻尼特性 | 第106-110页 |
| §4．2．6 陀螺的结构尺寸和特征参数 | 第110-114页 |
| §4．2．7 振子－框架式微机械陀螺的制备工艺 | 第114-117页 |
| §4．3 本章小结 | 第117-118页 |
| 第四章参考文献 | 第118-119页 |
| 个人简历 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120页 |