| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 1 绪论 | 第14-31页 |
| ·基于MEMS 的显示技术 | 第14-16页 |
| ·MEMS 技术 | 第14-15页 |
| ·显示技术的发展 | 第15-16页 |
| ·基于光MEMS 显示技术的发展 | 第16页 |
| ·基于MEMS 的光调制器 | 第16-29页 |
| ·反射式光调制器 | 第17-21页 |
| ·透射式光调制器 | 第21-23页 |
| ·衍射式光调制器 | 第23-25页 |
| ·干涉式光调制器 | 第25-29页 |
| ·课题的研究意义 | 第29页 |
| ·论文的主要内容 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 2 光栅光调制器阵列光学特性分析 | 第31-70页 |
| ·光栅光调制器衍射特性分析 | 第31-42页 |
| ·位相光栅的衍射 | 第31-35页 |
| ·光栅光调制器的结构优化设计 | 第35-38页 |
| ·光栅光调制器的结构 | 第38页 |
| ·光栅光调制器的衍射 | 第38-42页 |
| ·光栅光调制器阵列的衍射特性 | 第42-48页 |
| ·光栅光调制器阵列光学信息处理 | 第48-50页 |
| ·光栅光调制器阵列的像面特性分析 | 第50-56页 |
| ·单个光栅光调制器的成像分析初步 | 第50-52页 |
| ·基于Matlab 的光栅光调制器阵列光学特性分析 | 第52-55页 |
| ·光栅光调制器阵列的成像特性 | 第55-56页 |
| ·光栅光调制器对比度与衍射级次选取的关系 | 第56-61页 |
| ·光源尺寸对光栅光调制器阵列衍射特性的影响 | 第61-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 3 光栅光调制器投影光学系统设计 | 第70-93页 |
| ·投影显示光学系统 | 第70页 |
| ·基于光栅光调制器的投影光学系统 | 第70-76页 |
| ·基于扩展光源的光学投影系统分析 | 第76-80页 |
| ·光栅光调制器的投影透镜 | 第80-82页 |
| ·光栅光调制器的彩色显示方案 | 第82-87页 |
| ·单片式光栅光调制器的彩色显示 | 第82-84页 |
| ·三片式光栅光调制器的彩色显示 | 第84-85页 |
| ·激光光源的分析 | 第85-87页 |
| ·LED 照明的光栅光调制器衍射特性分析 | 第87-92页 |
| ·小结 | 第92-93页 |
| 4 光栅光调制器的特性测试与实验 | 第93-108页 |
| ·光栅光调制器的制作工艺 | 第93-97页 |
| ·MEMS 加工工艺 | 第93-94页 |
| ·光栅光调制器的加工工艺流程 | 第94-97页 |
| ·光栅光调制器的衍射实验 | 第97-99页 |
| ·光栅光调制器的激光衍射 | 第97-98页 |
| ·LED 照明条件下的光栅光调制器衍射 | 第98-99页 |
| ·静态光栅光调制器的投影成像实验 | 第99-101页 |
| ·光栅光调制器的投影显示实验 | 第101-103页 |
| ·光栅光调制器的彩色显示 | 第103-105页 |
| ·光栅光调制器的频率响应特性 | 第105-107页 |
| ·小结 | 第107-108页 |
| 5 介质层充电对光栅光调制器的影响 | 第108-118页 |
| ·光栅光调制器介质层充电的理论分析 | 第108-112页 |
| ·光栅光调制器介质充电的实验 | 第112-114页 |
| ·消除光栅光调制器介质层充电影响的分析 | 第114-116页 |
| ·介质层充电的进一步讨论 | 第116页 |
| ·小结 | 第116-118页 |
| 6 结论 | 第118-122页 |
| 致谢 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-132页 |
| 附录 | 第132-134页 |
| 附录A 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第132页 |
| 附录B 作者在攻读学位期间申请的专利目录 | 第132-134页 |