| 中文摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·研究目的及意义 | 第10-11页 |
| ·背景介绍 | 第11-14页 |
| ·磁控溅射镀膜机设计研制历程 | 第11-12页 |
| ·虚拟样机技术 | 第12-13页 |
| ·国内外相关领域进展 | 第13页 |
| ·产品建模 | 第13页 |
| ·可视化仿真技术 | 第13-14页 |
| ·本文主要工作和内容简介 | 第14-16页 |
| 第2章 虚拟样机设计支撑环境的体系结构研究 | 第16-34页 |
| ·磁控溅射镀膜机产品功能模型分析 | 第16-19页 |
| ·磁控溅射镀膜机产品虚拟样机设计的过程模型 | 第19-22页 |
| ·磁控溅射镀膜机产品虚拟样机支撑环境的总体设计 | 第22-26页 |
| ·虚拟样机支撑环境的功能分析 | 第22-23页 |
| ·虚拟样机支撑环境的体系结构 | 第23-26页 |
| ·构建虚拟样机支撑环境的关键技术分析 | 第26-32页 |
| ·协同建模与仿真平台构建技术 | 第26-27页 |
| ·虚拟样机的高层建模技术 | 第27-29页 |
| ·支持虚拟样机支撑环境的集成技术 | 第29-31页 |
| ·仿真模型库构建与管理技术 | 第31页 |
| ·分布式协同仿真技术 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 磁控溅射镀膜机建模与仿真 | 第34-56页 |
| ·虚拟样机建模与仿真研究的问题分析 | 第34-35页 |
| ·磁控溅射镀膜机虚拟样机的建模 | 第35-49页 |
| ·虚拟样机的建模特点 | 第35-39页 |
| ·磁控溅射镀膜机建模过程 | 第39-43页 |
| ·虚拟样机模型的应用情况 | 第43-49页 |
| ·镀膜机虚拟样机的可视化仿真 | 第49-54页 |
| ·可视化技术 | 第49-50页 |
| ·荷电粒子动力学可视化 | 第50-54页 |
| ·磁场分析 | 第51-52页 |
| ·微观粒子动力学计算 | 第52页 |
| ·微观粒子运动可视化 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 基于WEB SERVICES的分布式交互仿真方法研究 | 第56-66页 |
| ·分布式交互仿真概述 | 第56-58页 |
| ·分布式交互仿真的基本任务 | 第56页 |
| ·分布式交互仿真系统构建原则与关键技术 | 第56-58页 |
| ·分布式仿真实现的主流模式 | 第58页 |
| ·基于Web Services的分布式交互仿真系统研究 | 第58-63页 |
| ·Web Services概念与特性 | 第59-60页 |
| ·基于Web Services的DIS平台功能 | 第60-61页 |
| ·基于Web Services的DIS平台框架 | 第61-62页 |
| ·基于Web Services的DIS平台运行流程 | 第62-63页 |
| ·基于Web Services的仿真应用实现与调用 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第5章 结论与展望 | 第66-69页 |
| ·全文工作总结 | 第66页 |
| ·主要研究结论 | 第66-67页 |
| ·应用前景与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
