硅微陀螺频率调制驱动与温度补偿技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·研究目的及意义 | 第8页 |
| ·微机械陀螺仪的应用及市场前景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·硅微机械陀螺仪在国外的研究现状 | 第9-11页 |
| ·硅微机械陀螺仪在国内的研究现状 | 第11页 |
| ·电耦合误差的研究现状 | 第11-12页 |
| ·温度误差的研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 硅微型机械振动陀螺的基本理论 | 第14-32页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的结构及工作原理 | 第14-15页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的运动分析 | 第15-18页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的驱动运动分析 | 第15-17页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的敏感运动分析 | 第17-18页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的静电驱动原理 | 第18-20页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的检测输出 | 第20-23页 |
| ·敏感检测电容 | 第21-22页 |
| ·驱动检测电容 | 第22-23页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的固有频率 | 第23-31页 |
| ·陀螺的固有频率 | 第24-26页 |
| ·驱动运动与固有频率的关系 | 第26-27页 |
| ·敏感运动与固有频率的关系 | 第27-29页 |
| ·机械灵敏度与固有频率的关系 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 频率调制驱动技术 | 第32-46页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·电耦合误差 | 第32-33页 |
| ·频率调制驱动电路 | 第33-44页 |
| ·信号发生器 | 第38-40页 |
| ·比较器 | 第40-41页 |
| ·幅度补偿电路 | 第41-42页 |
| ·带通滤波器 | 第42-43页 |
| ·乘法器 | 第43-44页 |
| ·频率调制驱动实验 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 温度补偿技术 | 第46-75页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·温度对固有频率的影响 | 第46-49页 |
| ·温度对阻尼的影响 | 第49-53页 |
| ·基本概念 | 第49-51页 |
| ·温度条件下的阻尼 | 第51-53页 |
| ·温度对陀螺敏感输出的影响 | 第53-61页 |
| ·温度对驱动运动的影响 | 第53-55页 |
| ·温度对敏感运动的影响 | 第55-57页 |
| ·温度对机械灵敏度的影响 | 第57-58页 |
| ·温度对稳定时间的影响 | 第58页 |
| ·温度对带宽的影响 | 第58-60页 |
| ·温度对品质因数的影响 | 第60-61页 |
| ·机械热噪声的影响 | 第61-62页 |
| ·基于温度传感器的温度补偿 | 第62-69页 |
| ·温度传感器 | 第65-67页 |
| ·差分放大器 | 第67-68页 |
| ·分压电路及乘法器 | 第68-69页 |
| ·温度特性及温度补偿实验 | 第69-74页 |
| ·硅微型机械振动陀螺仪的温度特性实验 | 第69-72页 |
| ·温度补偿实验 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·总结 | 第75页 |
| ·展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
