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氨化磁控溅射Ga2O3/Tb薄膜制备GaN纳米结构的研究

摘要第1-7页
Abstract第7-10页
第一章 绪论第10-25页
 第一节 GaN材料的基本性质和研究进展第11-17页
 第二节 Tb材料的基本性质、应用和研究进展第17-19页
 第三节 GaN纳米结构的生长方法第19-23页
 第四节 本论文的选题依据第23-25页
第二章 实验设备和测试表征方法第25-31页
 第一节 实验设备介绍第25-27页
 第二节 样品的测试和表征技术第27-31页
第三章 磁控溅射GaO/Tb薄膜制备一维GaN纳米结构的研究第31-50页
 第一节 一维GaN纳米结构的制备第31-32页
 第二节 氨化温度对合成一维GaN纳米结构的影响第32-43页
 第三节 氨化时间对合成一维GaN纳米结构的影响第43-45页
 第四节 中间层厚度对合成一维GaN纳米结构的影响第45-46页
 第五节 一维GaN纳米结构生长机制的探索第46-50页
第四章 结论第50-52页
   ·本文的主要研究结果第50-51页
   ·对今后工作的建议第51-52页
参考文献第52-60页
攻读硕士学位期间发表的论文目录第60-63页
致谢第63-64页

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