| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·先进陶瓷超精密研究现状 | 第12-15页 |
| ·半固着磨粒加工技术 | 第15-17页 |
| ·陶瓷材料的去除机理研究现状 | 第17-18页 |
| ·材料的脆性去除机理 | 第17页 |
| ·材料的粉末化去除机理 | 第17页 |
| ·材料的塑性(延性)去除机理 | 第17-18页 |
| ·课题来源 | 第18-19页 |
| ·本论文的研究目的、意义和内容 | 第19-20页 |
| ·研究目的、意义 | 第19页 |
| ·研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 半固着磨具特性 | 第20-33页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·磨具表面硬度 | 第20-23页 |
| ·抗剪强度 | 第23-25页 |
| ·磨具组织 | 第25-27页 |
| ·半固着磨粒磨具微观组织结构 | 第27-28页 |
| ·弹性模量 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 半固着磨具压痕试验和表面形貌检测 | 第33-46页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·纳米压痕试验原理 | 第33-36页 |
| ·压痕实验 | 第36-40页 |
| ·实验条件 | 第36-37页 |
| ·实验步骤 | 第37-38页 |
| ·实验结果 | 第38-40页 |
| ·表面形貌检测 | 第40-44页 |
| ·磨具形貌检测方法 | 第40-41页 |
| ·磨具表面形貌检测 | 第41-44页 |
| ·半固着磨具与加工工件的接触形式 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于半固着磨具加工的材料去除率和表面质量的实验研究 | 第46-58页 |
| ·实验设备 | 第46-47页 |
| ·实验目的和检测方法 | 第47-48页 |
| ·表面粗糙度检测 | 第47-48页 |
| ·材料去除率检测 | 第48页 |
| ·实验工艺参数优化设计 | 第48-52页 |
| ·优化工艺参数实验 | 第48-50页 |
| ·实验结果分析 | 第50-52页 |
| ·实验工艺参数对加工效率的影响 | 第52-54页 |
| ·载荷对去除率的影响 | 第52-53页 |
| ·转速对去除率的影响 | 第53-54页 |
| ·流量对去除率的影响 | 第54页 |
| ·实验工艺参数对加工质量的影响 | 第54-57页 |
| ·载荷对表面粗糙度的影响 | 第54-55页 |
| ·转速对表面粗糙度的影响 | 第55-56页 |
| ·流量对表面粗糙度的影响 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 半固着磨粒磨具加工的材料去除机理研究 | 第58-72页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·硅片纳米压痕测试 | 第58-59页 |
| ·半固着磨具加工材料去除模型 | 第59-61页 |
| ·半固着磨粒磨具与游离磨粒、固着磨具的对比实验 | 第61-63页 |
| ·材料去除机理分析 | 第63-68页 |
| ·半固着磨粒磨具的应用 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读工程硕士期间参加的科研项目和学术论文 | 第79页 |