| 论文摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·ZnO的结构和特性 | 第10-11页 |
| ·ZnO的应用 | 第11-12页 |
| ·ZnO薄膜的研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备与表征 | 第14-20页 |
| ·薄膜制备技术原理及特点 | 第14-16页 |
| ·薄膜的主要表征方法 | 第16-20页 |
| 第三章 Ag掺杂ZnO薄膜的制备及性能研究 | 第20-33页 |
| ·实验方法 | 第20页 |
| ·不同Ag掺杂含量对ZnO薄膜的结构和光学特性的影响 | 第20-25页 |
| ·衬底温度对ZnO结构和光学性能的影响 | 第25-28页 |
| ·不同氧压下制备的Ag掺杂ZnO薄膜的特性研究 | 第28-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 Fe掺杂ZnO薄膜结构和光学性能研究 | 第33-44页 |
| ·实验方法 | 第33页 |
| ·Fe掺杂浓度对ZnO薄膜的性能影响 | 第33-37页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜的性能影响 | 第37-40页 |
| ·氧压对ZnO薄膜的性能影响 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 结论 | 第44-46页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50页 |