| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| ·金刚石的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·金刚石膜的性质 | 第13-15页 |
| ·金刚石气相沉积方法介绍 | 第15-19页 |
| ·热丝CVD 方法和电子辅助热丝CVD 法（EA-CVD） | 第16-17页 |
| ·激光辅助 CVD 法(LACVD) | 第17页 |
| ·电子回旋共振等离子体 CVD 法(ECRMWCVD) | 第17页 |
| ·火焰沉积法(Flame Deposition) | 第17页 |
| ·直流辉光 PCVD 法(DC Glow PCVD) | 第17-18页 |
| ·直流电弧等离子喷射 CVD 法(DAPCVD) | 第18页 |
| ·微波等离子体 CVD 法(MWPCVD) | 第18-19页 |
| ·研究背景及研究内容 | 第19-22页 |
| 第二章 实验设备和实验方法 | 第22-32页 |
| ·微波 PCVD 法制备金刚石膜的介绍 | 第22页 |
| ·微波CVD 金刚石膜沉积系统简介 | 第22-29页 |
| ·沉积系统的建立 | 第23-25页 |
| ·直接耦合石英管式 MPCVD 金刚石膜装置改装 | 第25-27页 |
| ·工作性能 | 第27-29页 |
| ·实验 | 第29-30页 |
| ·结果 | 第30-32页 |
| 第三章 金刚石膜色度分析 | 第32-39页 |
| ·测量原理 | 第32-33页 |
| ·测量仪器 | 第33-34页 |
| ·实验与测试分析 | 第34-37页 |
| ·实验 | 第34页 |
| ·样品厚度及品质 | 第34-35页 |
| ·色度标定 | 第35-37页 |
| ·分析结果 | 第37页 |
| ·结论 | 第37-39页 |
| 第四章 MPCVD 过程中 Ar 的发射光谱诊断 | 第39-48页 |
| ·等离子体诊断方法简介 | 第39-41页 |
| ·实验 | 第41-42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-47页 |
| ·玻尔兹曼“斜率法” | 第42-43页 |
| ·结果分析 | 第43-47页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| 第五章 MPCVD 金刚石膜的应用 | 第48-53页 |
| ·金刚石膜的力学应用 | 第48-49页 |
| ·实验 | 第49-51页 |
| ·样品制备 | 第49-50页 |
| ·样品测试 | 第50-51页 |
| ·结果分析 | 第51-52页 |
| ·结论 | 第52-53页 |
| 第六章 总结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
