| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-9页 |
| 中文目录 | 第9-11页 |
| 英文目录 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| ·ZnO的性质 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第13-18页 |
| ·生长过程概述 | 第13-16页 |
| ·ZnO薄膜制备技术 | 第16-18页 |
| ·ZnO的P型掺杂 | 第18-22页 |
| ·氧化锌的压敏特性 | 第22-28页 |
| ·压敏的基本原理 | 第22页 |
| ·压敏的微观机制 | 第22-23页 |
| ·压敏的导电机理 | 第23-27页 |
| ·氧化锌压敏电阻的发展趋势 | 第27-28页 |
| ·本论文的研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 Ag掺杂ZnO薄膜的p型掺杂研究 | 第29-41页 |
| ·前言 | 第29页 |
| ·实验 | 第29-30页 |
| ·基片清洗 | 第29-30页 |
| ·薄膜制备 | 第30页 |
| ·样品的测试表征 | 第30-38页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析结果 | 第30-31页 |
| ·X-射线衍射分析结果 | 第31-34页 |
| ·薄膜的透射光谱 | 第34-35页 |
| ·霍尔测试及分析 | 第35-38页 |
| ·小结 | 第38-41页 |
| 第三章 氧化铋-氧化锌双层膜压敏特性的研究 | 第41-53页 |
| ·前言 | 第41页 |
| ·器件的制备 | 第41-43页 |
| ·基片清洗 | 第41-42页 |
| ·样品制备 | 第42-43页 |
| ·微观分析 | 第43-51页 |
| ·显微结构分析 | 第43-46页 |
| ·XRD测试分析 | 第46-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第四章 铝掺杂ZnO薄膜的电压敏特性及肖特基势垒高度 | 第53-66页 |
| ·前言 | 第53页 |
| ·实验 | 第53页 |
| ·显微分析 | 第53-55页 |
| ·XRD分析 | 第55-57页 |
| ·能谱分析 | 第57-58页 |
| ·压敏性能测试 | 第58-62页 |
| ·双层膜的肖特基势垒高度 | 第62-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 第五章 主要结论及后续工作的展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |