| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-21页 |
| ·SnO_2薄膜的研究现状 | 第10-14页 |
| ·SnO_2透明薄膜导电性能的研究进展 | 第10-13页 |
| ·Sn2透明薄膜光致发光性能的研究进展 | 第13-14页 |
| ·掺杂型SnO_2薄膜的导电机理 | 第14-15页 |
| ·半导体材料的光致发光原理 | 第15-19页 |
| ·论文的研究意义、目的和方法 | 第19-21页 |
| ·研究背景 | 第19页 |
| ·研究目的 | 第19-20页 |
| ·研究方法 | 第20-21页 |
| 第二章 薄膜的制备方法和表征手段 | 第21-29页 |
| ·溶胶-凝胶法简介 | 第21-23页 |
| ·旋涂法成膜简介 | 第23-24页 |
| ·薄膜表征手段介绍 | 第24-29页 |
| ·X射线衍射技术(XRD) | 第24-26页 |
| ·紫外—可见吸收光谱分析法 | 第26页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第26页 |
| ·光致发光光谱 | 第26-27页 |
| ·四探针电阻测试 | 第27-29页 |
| 第三章 SnO_2薄膜的制备与光电性能研究 | 第29-40页 |
| ·前言 | 第29页 |
| ·实验所用试剂和仪器 | 第29-30页 |
| ·实验所用试剂 | 第29-30页 |
| ·实验所用仪器和设备 | 第30页 |
| ·SnO_2溶胶与薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·SnO_2溶胶的制备 | 第30页 |
| ·涂膜和热处理 | 第30-31页 |
| ·实验测试结果 | 第31-33页 |
| ·SnO_2薄膜的XRD测试结果 | 第31页 |
| ·SnO_2薄膜的原子力显微镜(AFM)图 | 第31-32页 |
| ·薄膜的透过率测试结果 | 第32-33页 |
| ·薄膜的光致发光测试结果 | 第33页 |
| ·薄膜的方块电阻测试结果 | 第33页 |
| ·结果与讨论 | 第33-38页 |
| ·温度对SnO_2薄膜的结构的影响 | 第34-35页 |
| ·退火温度对SnO_2薄膜光学性能影响 | 第35-37页 |
| ·退火温度对SnO_2薄膜电阻的影响 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 Sb掺杂的SnO_2薄膜的制备与光电性能研究 | 第40-50页 |
| ·前言 | 第40页 |
| ·实验所用试剂和仪器 | 第40-41页 |
| ·实验试剂 | 第40-41页 |
| ·实验仪器 | 第41页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2溶胶的制备 | 第41页 |
| ·样品的制备 | 第41-42页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2薄膜的测试结果 | 第42-46页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2薄膜的XRD图谱 | 第42-43页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2薄膜的AFM图 | 第43-44页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2薄膜的透过率测试结果 | 第44-45页 |
| ·Sb掺杂的SnO_2薄膜的光之发光测试结果 | 第45-46页 |
| ·Sb掺杂对SnO_2薄膜的电学性能测试结果 | 第46页 |
| ·结果与讨论 | 第46-48页 |
| ·Sb掺杂对SnO_2薄膜的结构的影响 | 第46-47页 |
| ·Sb掺杂对SnO_2薄膜的光学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·Sb掺杂对SnO_2薄膜的电学性能的影响 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 Co掺杂的SnO_2薄膜的制备与光电性能研究 | 第50-60页 |
| ·前言 | 第50页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第50-51页 |
| ·实验所用试剂 | 第50页 |
| ·实验仪器 | 第50-51页 |
| ·Co掺杂的SnO_2薄膜的制备 | 第51-52页 |
| ·Co掺杂的SnO_2溶胶的制备 | 第51页 |
| ·样品的制备 | 第51-52页 |
| ·Co掺杂的SnO_2薄膜测试结果 | 第52-56页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜XRD图谱 | 第52页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜AFM图谱 | 第52-54页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜的透过率测试结果 | 第54-55页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜的光致发光测试结果 | 第55-56页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜的电学测试结果 | 第56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-57页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜的结构的影响 | 第56-57页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜的光学性能的影响 | 第57页 |
| ·Co掺杂对SnO_2薄膜的电学性能的影响 | 第57-58页 |
| ·不同掺杂源的SnO_2薄膜的性能比较 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 结论 | 第60-62页 |
| 硕士期间发表论文 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |