| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-38页 |
| 1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.2 研究背景 | 第12-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-32页 |
| 1.3.1 压电陶瓷驱动纳米定位平台 | 第16-21页 |
| 1.3.2 磁滞非线性控制 | 第21-24页 |
| 1.3.3 谐振振动控制 | 第24-30页 |
| 1.3.4 交叉耦合控制 | 第30-32页 |
| 1.4 论文内容及结构 | 第32-38页 |
| 1.4.1 问题描述 | 第32-33页 |
| 1.4.2 论文研究内容及结构 | 第33-38页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动二维并联高带宽纳米定位平台的设计 | 第38-58页 |
| 2.1 引言 | 第38页 |
| 2.2 柔顺机构设计与分析 | 第38-43页 |
| 2.2.1 运动构型分析 | 第38-40页 |
| 2.2.2 柔顺机构设计 | 第40-42页 |
| 2.2.3 其他考虑事项 | 第42-43页 |
| 2.3 柔顺机构建模、参数优化与有限元分析 | 第43-49页 |
| 2.3.1 静力学与动力学建模 | 第43-45页 |
| 2.3.2 柔顺机构参数优化 | 第45-47页 |
| 2.3.3 有限元分析 | 第47-49页 |
| 2.4 实验系统搭建与平台性能测试 | 第49-55页 |
| 2.4.1 压电陶瓷驱动纳米定位平台系统搭建 | 第49-50页 |
| 2.4.2 最大行程及静态耦合测试 | 第50-51页 |
| 2.4.3 动态磁滞特性测试 | 第51-54页 |
| 2.4.4 频率响应测试 | 第54页 |
| 2.4.5 定位分辨率测试 | 第54-55页 |
| 2.4.6 与现有高带宽平台性能对比 | 第55页 |
| 2.5 本章小结 | 第55-58页 |
| 第三章 基于改进型重复控制的周期路径跟踪控制方法 | 第58-78页 |
| 3.1 引言 | 第58-59页 |
| 3.2 磁滞非线性分解 | 第59-60页 |
| 3.3 改进型重复控制 | 第60-67页 |
| 3.3.1 控制器设计 | 第60-64页 |
| 3.3.2 稳定性与鲁棒稳定性分析 | 第64-66页 |
| 3.3.3 控制器参数优化方法 | 第66-67页 |
| 3.4 控制器实现 | 第67-70页 |
| 3.4.1 系统模型辨识 | 第67-68页 |
| 3.4.2 控制器参数设计 | 第68-69页 |
| 3.4.3 控制器性能分析 | 第69-70页 |
| 3.5 实验研究 | 第70-76页 |
| 3.5.1 三角波跟踪测试 | 第72-73页 |
| 3.5.2 磁滞补偿测试 | 第73-74页 |
| 3.5.3 抗干扰测试 | 第74-76页 |
| 3.6 本章小结 | 第76-78页 |
| 第四章 基于奇次谐波重复控制的三角波路径跟踪控制方法 | 第78-94页 |
| 4.1 引言 | 第78页 |
| 4.2 磁滞特性研究 | 第78-81页 |
| 4.3 奇次谐重复波控制 | 第81-85页 |
| 4.3.1 控制器设计 | 第81-83页 |
| 4.3.2 稳定性与鲁棒稳定性分析 | 第83-85页 |
| 4.4 控制器实现 | 第85-88页 |
| 4.4.1 系统模型辨识 | 第86页 |
| 4.4.2 控制器参数设计 | 第86-87页 |
| 4.4.3 控制器性能分析 | 第87-88页 |
| 4.5 实验研究 | 第88-92页 |
| 4.5.1 三角波跟踪测试 | 第88-90页 |
| 4.5.2 磁滞补偿测试 | 第90-91页 |
| 4.5.3 线性动态特性补偿测试 | 第91-92页 |
| 4.6 本章小结 | 第92-94页 |
| 第五章 基于递归时滞位置反馈的高带宽控制方法 | 第94-118页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 实验系统介绍与模型辨识 | 第94-97页 |
| 5.2.1 实验系统介绍 | 第94-95页 |
| 5.2.2 系统模型辨识 | 第95-97页 |
| 5.3 递归时滞位置反馈控制器设计 | 第97-104页 |
| 5.3.1 递归时滞位置反馈控制器结构 | 第97-99页 |
| 5.3.2 递归时滞位置反馈系统的最右特征根计算方法 | 第99-102页 |
| 5.3.3 递归时滞位置反馈控制器参数设计 | 第102-104页 |
| 5.4 高增益跟踪控制器设计 | 第104-106页 |
| 5.4.1 高增益跟踪控制器结构 | 第104-105页 |
| 5.4.2 系统稳定性分析 | 第105-106页 |
| 5.5 实验研究 | 第106-115页 |
| 5.5.1 带宽测试 | 第106-107页 |
| 5.5.2 路径跟踪测试 | 第107-113页 |
| 5.5.3 磁滞补偿测试 | 第113-114页 |
| 5.5.4 鲁棒性能测试 | 第114-115页 |
| 5.6 本章小结 | 第115-118页 |
| 第六章 基于改进型重复控制的交叉耦合补偿方法 | 第118-136页 |
| 6.1 引言 | 第118页 |
| 6.2 交叉耦合分析 | 第118-120页 |
| 6.3 基于改进型重复控制的交叉耦合补偿方法 | 第120-123页 |
| 6.3.1 控制器设计 | 第121-122页 |
| 6.3.2 控制器实现 | 第122-123页 |
| 6.4 实验研究 | 第123-133页 |
| 6.4.1 耦合补偿测试 | 第124-127页 |
| 6.4.2 栅格扫描测试 | 第127-133页 |
| 6.5 本章小结 | 第133-136页 |
| 第七章 总结与展望 | 第136-142页 |
| 7.1 工作总结 | 第136-138页 |
| 7.2 论文创新点 | 第138-139页 |
| 7.3 研究展望 | 第139-142页 |
| 附录A 二维纳米定位平台的静力学与动力学建模过程 | 第142-146页 |
| 附录B 含递归时滞位置反馈的系统微分方程参数 | 第146-148页 |
| 参考文献 | 第148-166页 |
| 攻读博士学位论文期间的科研成果 | 第166-170页 |
| 致谢 | 第170-172页 |
