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直流磁控溅射法沉积氧化镍电致变色薄膜及其性能研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-26页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 电致变色材料概述第11-12页
    1.3 电致变色器件第12-16页
        1.3.1 电致变色器件的结构及工作原理第12页
        1.3.2 透明导电层第12-13页
        1.3.3 金属氧化物电致变色层第13-14页
        1.3.4 电解质层第14-15页
        1.3.5 离子储存层第15页
        1.3.6 电致变色器件的研究进展第15-16页
    1.4 氧化镍电致变色薄膜第16-19页
        1.4.1 氧化镍薄膜材料的结构特点第16-18页
        1.4.2 氧化镍薄膜的变色机理第18-19页
    1.5 氧化镍电致变色薄膜的制备方法第19-24页
        1.5.1 化学气相沉积法第19-20页
        1.5.2 喷雾热分解法第20-21页
        1.5.3 脉冲激光沉积法第21页
        1.5.4 化学浴沉积法第21页
        1.5.5 溶胶凝胶法第21-22页
        1.5.6 电沉积法第22页
        1.5.7 磁控溅射法第22-24页
    1.6 论文的研究内容和方法第24-26页
第2章 NiO薄膜的制备方法和性能表征手段第26-31页
    2.1 直流反应磁控溅射法沉积NiO薄膜第26-28页
        2.1.1 实验流程第26页
        2.1.2 直流磁控溅射技术第26-28页
    2.2 NiO薄膜结构的表征手段第28-29页
        2.2.1 X射线衍射仪(XRD)第28页
        2.2.2 X射线光电子能谱仪(XPS)第28页
        2.2.3 场发射扫描电子显微镜(SEM)第28-29页
        2.2.4 台阶仪第29页
    2.3 NiO薄膜电致变色性能表征手段第29-31页
        2.3.1 电化学工作站第29-30页
        2.3.2 分光光度计第30-31页
第3章 NiO薄膜的结构与电致变色性能研究第31-71页
    3.1 膜厚对NiO薄膜结构与电致变色性能的影响第31-40页
        3.1.1 膜厚对NiO薄膜结构的影响第31-34页
        3.1.2 膜厚对NiO薄膜电致变色性能的影响第34-40页
    3.2 氧氩流量比对NiO薄膜结构与电致变色性能的影响第40-48页
        3.2.1 氧氩流量比对NiO薄膜结构的影响第41-43页
        3.2.2 氧氩流量比对NiO薄膜电致变色性能的影响第43-48页
    3.3 溅射功率对NiO薄膜结构与电致变色性能的影响第48-55页
        3.3.1 溅射功率对NiO薄膜结构的影响第48-51页
        3.3.2 溅射功率对NiO薄膜电致变色性能的影响第51-55页
    3.4 沉积气压对NiO薄膜结构与电致变色性能的影响第55-61页
        3.4.1 沉积气压对NiO薄膜结构的影响第56-57页
        3.4.2 沉积气压对NiO薄膜电致变色性能的影响第57-61页
    3.5 基片温度对NiO薄膜结构与电致变色性能的影响第61-69页
        3.5.1 基片温度对NiO薄膜结构的影响第62-64页
        3.5.2 基片温度对NiO薄膜电致变色性能的影响第64-69页
    3.6 本章小结第69-71页
第4章 NiO基电致变色器件的制备第71-78页
    4.1 NiO薄膜以KOH为电解质时循环寿命的研究第71-74页
    4.2 FTO/NiO/KOH/FTO电致变色器件的设计第74-76页
    4.3 本章小结第76-78页
第5章 总结与展望第78-80页
致谢第80-81页
参考文献第81-86页
攻读硕士学位期间发表的论文第86页

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