FBAR无线传感器集成技术研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目次 | 第9-11页 |
| 缩略词表 | 第11-13页 |
| 1 绪论 | 第13-25页 |
| ·FBAR原理及研究现状 | 第13-20页 |
| ·FBAR原理 | 第13-18页 |
| ·国内外研究现状 | 第18-20页 |
| ·FBAR无线传感器研究现状 | 第20-22页 |
| ·无线传感网简介及发展现状 | 第20页 |
| ·FBAR微质量传感器及研究现状 | 第20-22页 |
| ·论文的研究目的及研究内容 | 第22-25页 |
| ·论文的研究目的及意义 | 第22-23页 |
| ·各章节内容安排 | 第23-25页 |
| 2 FBAR的制备、集成工艺研究及建模 | 第25-43页 |
| ·FBAR集成工艺研究 | 第25-29页 |
| ·FBAR制备工艺研究 | 第25-27页 |
| ·FBAR与CMOS工艺集成研究 | 第27-29页 |
| ·FBAR的制备 | 第29-34页 |
| ·FBAR流片及测试 | 第29-31页 |
| ·FBAR样品的获取 | 第31-34页 |
| ·FBAR器件的寄生分析及建模 | 第34-41页 |
| ·FBAR器件的寄生分析 | 第34-36页 |
| ·BVD和MBVD模型 | 第36-38页 |
| ·加入寄生优化的PMBVD模型 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 3 FBAR无线传感系统设计 | 第43-55页 |
| ·FBAR无线传感应用系统架构 | 第43-46页 |
| ·FBAR无线传感器系统架构 | 第43-44页 |
| ·FBAR微质量传感信息采集方法 | 第44-45页 |
| ·FBAR无线微质量传感器 | 第45-46页 |
| ·无线发射电路PA设计 | 第46-53页 |
| ·无线通信链路分析 | 第46-49页 |
| ·PA介绍及选型 | 第49-50页 |
| ·E类PA设计及流片 | 第50-53页 |
| ·本章小节 | 第53-55页 |
| 4 FBAR传感芯片设计 | 第55-82页 |
| ·FBAR振荡电路 | 第55-58页 |
| ·FBAR振荡器的温度补偿技术研究 | 第58-64页 |
| ·FBAR的频率温度特性和温度补偿技术分析 | 第58-60页 |
| ·热敏电桥法温度补偿 | 第60-64页 |
| ·FBAR传感信号采集电路 | 第64-68页 |
| ·FBAR微质量传感器电学模型 | 第64-65页 |
| ·计数法检测FBAR微质量传感信息 | 第65-68页 |
| ·微质量传感信号处理电路设计 | 第68-74页 |
| ·芯片整体结构介绍 | 第68-70页 |
| ·源耦合逻辑分频电路 | 第70-72页 |
| ·数字处理电路 | 第72-74页 |
| ·版图设计及流片测试 | 第74-80页 |
| ·芯片版图设计 | 第74-77页 |
| ·测试 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 5 总结与展望 | 第82-85页 |
| ·论文主要内容及成果 | 第82-83页 |
| ·论文的不足之处及进一步工作 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第91-92页 |
