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V及V/N共掺杂TiO2薄膜结构和性质的研究

中文摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
1 综述第8-18页
    1.1 引言第8-9页
    1.2 TiO_2的结构和性质第9-11页
    1.3 掺杂TiO_2磁性、输运和光学性质的研究第11-15页
        1.3.1 掺杂TiO_2磁性的研究第11-13页
        1.3.2 掺杂TiO_2输运性质的研究第13页
        1.3.3 掺杂TiO_2光学性质的研究第13-15页
    1.4 本论文的思路及安排第15-18页
2 样品制备及测试方法第18-28页
    2.1 引言第18页
    2.2 靶材的制备与基片的处理第18-21页
        2.2.1 靶材的制备第18-21页
        2.2.2 基片的处理第21页
    2.3 薄膜样品的制备第21-22页
    2.4 薄膜样品结构及性质的表征第22-28页
        2.4.1 薄膜样品厚度表征-光学轮廓仪第22页
        2.4.2 薄膜样品结构表征-X射线衍射仪第22-23页
        2.4.3 薄膜样品成分和价态表征-X射线光电子谱第23-24页
        2.4.4 薄膜样品能带结构表征-紫外光电子能谱第24页
        2.4.5 薄膜样品光学性质表征-紫外可见分光光度计第24-25页
        2.4.6 薄膜样品光电性质表征-电化学测量系统第25页
        2.4.7 薄膜样品磁学性质表征-超导量子干涉仪第25-26页
        2.4.8 薄膜样品输运性质表征-综合物性测量系统第26-28页
3 V掺杂TiO_2薄膜结构、磁性及输运性质的研究第28-38页
    3.1 引言第28页
    3.2 实验方法第28-29页
    3.3 不同衬底对V掺杂TiO_2薄膜结构的影响第29-32页
    3.4 不同厚度V掺杂TiO_2薄膜结构、磁性及输运性质的研究第32-37页
        3.4.1 不同厚度V掺杂TiO_2薄膜结构的研究第32-34页
        3.4.2 不同厚度V掺杂TiO_2薄膜磁性的研究第34-35页
        3.4.3 不同厚度V掺杂TiO_2薄膜输运性质的研究第35-37页
    3.5 本章小结第37-38页
4 V/N共掺杂TiO_2薄膜结构、磁性及光学性质的研究第38-48页
    4.1 引言第38页
    4.2 实验方法第38-39页
    4.3 V/N共掺杂TiO_2薄膜结构的研究第39-41页
    4.4 V/N共掺杂TiO_2薄膜磁性的研究第41-42页
    4.5 V/N共掺杂TiO_2薄膜光学性质的研究第42-45页
    4.6 本章小结第45-48页
5 结论第48-50页
参考文献第50-56页
附录第56-58页
在学期间的研究成果第58-60页
致谢第60页

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