| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 本课题研究的背景和意义 | 第13-15页 |
| 1.2 有关多孔质气浮输运系统的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 国内外有关气悬浮输运系统的流固耦合研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 实测值融合算法研究现状 | 第19-20页 |
| 1.5 本课题研究的主要内容和章节 | 第20-22页 |
| 1.5.1 本课题研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 1.5.2 技术路线 | 第21-22页 |
| 1.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 局部多孔质气浮输运原理及仿真建模分析 | 第23-37页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 气浮导轨的工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 多孔质气阻的流量特性 | 第24-25页 |
| 2.4 气膜压力分布数学建模 | 第25-29页 |
| 2.4.1 数学建模 | 第25-28页 |
| 2.4.2 气膜压力分布数学模型求解 | 第28-29页 |
| 2.5 基于Fluent仿真分析的气浮导轨单元 | 第29-32页 |
| 2.5.1 Fluent软件概述 | 第29页 |
| 2.5.2 Fluent气流模型建立及Mesh网格划分 | 第29-30页 |
| 2.5.3 Fluent读取网格并计算 | 第30-31页 |
| 2.5.4 Fluent计算后处理及仿真结果输出 | 第31-32页 |
| 2.6 数学建模结果及Fluent仿真计算分析 | 第32-36页 |
| 2.6.1 压力分布对比 | 第32-33页 |
| 2.6.2 凹槽及排气孔对气膜压力分布的影响 | 第33-36页 |
| 2.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 气浮导轨单元气膜压力试验验证及分析 | 第37-49页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 流量测试试验 | 第37-40页 |
| 3.2.1 测量原理 | 第37-39页 |
| 3.2.2 流量测试试验结果分析 | 第39-40页 |
| 3.3 压力分布测量试验 | 第40-46页 |
| 3.3.1 试验装置 | 第40-42页 |
| 3.3.2 压力分布测试过程 | 第42-44页 |
| 3.3.3 试验结果与计算对比分析 | 第44-46页 |
| 3.4 气膜承载力试验 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 玻璃基板在气浮输运系统中的形变分析 | 第49-59页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 气浮输运系统的构建 | 第49-50页 |
| 4.3 基于AnsysWorkbench仿真软件的流固耦合分析 | 第50-53页 |
| 4.3.1 AnsysWorkbench流固耦合 | 第50页 |
| 4.3.2 玻璃基板的流固耦合计算 | 第50-52页 |
| 4.3.3 形变结果分析 | 第52-53页 |
| 4.4 玻璃基板形变实验研究 | 第53-57页 |
| 4.4.1 实验测量过程 | 第53-55页 |
| 4.4.2 实验结果分析 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 玻璃基板形变预测方法分析 | 第59-74页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 形变预测方案 | 第59-64页 |
| 5.2.1 形变测量装置 | 第59-61页 |
| 5.2.2 实测值融合算法的形变预测方法分析 | 第61-64页 |
| 5.3 形变预测与试验结果对比分析 | 第64-72页 |
| 5.3.1 单点压力值反馈的形变预测 | 第64-67页 |
| 5.3.2 单点压力值反馈误差分析 | 第67-68页 |
| 5.3.3 多点压力值反馈的形变预测 | 第68-70页 |
| 5.3.4 多点压力值反馈误差分析 | 第70-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-74页 |
| 第6章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 结论 | 第74-75页 |
| 6.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
