微扰方法在衍射光栅分析中的应用
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 半导体产业计量技术的发展 | 第10-11页 |
| 1.1.2 散射度量术综述 | 第11-12页 |
| 1.2 周期结构的衍射模拟算法综述 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的研究内容和意义 | 第14页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第14-16页 |
| 第二章 严格耦合波分析法在光栅衍射分析中的应用 | 第16-37页 |
| 2.1 严格耦合波分析法在一维光栅分析中的应用 | 第16-24页 |
| 2.1.1 研究模型 | 第16-17页 |
| 2.1.2 TE偏振 | 第17-20页 |
| 2.1.3 TM偏振 | 第20-21页 |
| 2.1.4 任意偏振 | 第21-24页 |
| 2.2 一维多层结构 | 第24-27页 |
| 2.3 严格耦合波分析法在二维光栅分析中的应用 | 第27-36页 |
| 2.3.1 研究模型 | 第27页 |
| 2.3.2 入射光波 | 第27-29页 |
| 2.3.3 耦合波方程 | 第29-32页 |
| 2.3.4 反射率的计算 | 第32-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 微扰方法的基本原理 | 第37-46页 |
| 3.1 微扰法在RCWA中的应用 | 第37-42页 |
| 3.1.1 研究模型 | 第37-38页 |
| 3.1.2 特征值问题的简化 | 第38-40页 |
| 3.1.3 微扰法求解光栅问题 | 第40-42页 |
| 3.2 微扰改进算法分析 | 第42-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 结合RCWA的微扰算法的电磁模拟 | 第46-60页 |
| 4.1 一维光栅中微扰法的实现 | 第46-55页 |
| 4.1.1 衍射效率与梯形角度变化的关系 | 第47-51页 |
| 4.1.1.1 精确求解两次特征值 | 第47页 |
| 4.1.1.2 精确求解四次特征值 | 第47-48页 |
| 4.1.1.3 二级近似 | 第48-49页 |
| 4.1.1.4 色散介质 | 第49-51页 |
| 4.1.2 衍射效率与梯形高度变化的关系 | 第51-54页 |
| 4.1.3 微扰方法的省时效率 | 第54-55页 |
| 4.2 二维光栅中微扰法的实现 | 第55-59页 |
| 4.2.1 研究模型 | 第55页 |
| 4.2.2 衍射效率与二面角的关系 | 第55-57页 |
| 4.2.2.1 衍射效率随二面角变化 | 第55-56页 |
| 4.2.2.2 色散介质 | 第56-57页 |
| 4.2.3 微扰法的省时效率 | 第57-59页 |
| 4.2.3.1 增加精确求解特征值的次数 | 第57-59页 |
| 4.2.3.2 省时效率和截断阶数的关系 | 第59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
