| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.1 MEMS谐振式压力传感器国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.2 谐振式压力传感器激励与检测方法 | 第15-20页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 谐振式压力传感器及闭环检测原理 | 第21-31页 |
| 2.1 谐振式压力传感器的机械结构分析 | 第21-24页 |
| 2.1.1 谐振式压力传感器的机械等效模型 | 第21-22页 |
| 2.1.2 谐振式压力传感器的工作原理 | 第22-24页 |
| 2.2 谐振式压力传感器闭环检测原理 | 第24-30页 |
| 2.2.1 静电驱动原理 | 第25-27页 |
| 2.2.2 电容检测原理 | 第27-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 线性谐振式压力传感器测试系统原理及仿真实验 | 第31-56页 |
| 3.1 谐振式压力传感器自激控制原理 | 第31-32页 |
| 3.2 闭环测试系统仿真模型的建立及分析 | 第32-50页 |
| 3.2.1 谐振式压力传感器电气等效模型 | 第32-36页 |
| 3.2.2 基于AGC闭环测试系统仿真模型的建立及测试分析 | 第36-43页 |
| 3.2.3 基于锁相环闭环测试系统仿真模型的建立及测试分析 | 第43-50页 |
| 3.3 基于采样锁相环电路的稳定性分析 | 第50-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 基于线性反馈的非线性谐振式压力传感器测试研究 | 第56-66页 |
| 4.1 谐振器非线性模型 | 第56-57页 |
| 4.2 基于线性反馈的闭环测试系统仿真模型的建立及测试分析 | 第57-63页 |
| 4.2.1 线性反馈组成部分分析 | 第59-61页 |
| 4.2.2 系统仿真模型建立及分析 | 第61-63页 |
| 4.3 线性反馈测试系统的稳态相差分析 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 本文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第73页 |
