电感耦合式射频等离子清洗系统设计研制
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 概念与内涵 | 第9页 |
| 1.2 选题研究的目的和意义 | 第9-14页 |
| 1.3 国内外发展状况 | 第14-16页 |
| 1.3.1 国外发展状况 | 第14-15页 |
| 1.3.2 国内发展状况 | 第15-16页 |
| 1.4 本课题研究的目标、主要内容及技术路线 | 第16-19页 |
| 1.4.1 本课题的研究目标 | 第16-17页 |
| 1.4.2 本课题的主要研究内容 | 第17页 |
| 1.4.3 本课题的研究方法和技术路线 | 第17-18页 |
| 1.4.4 论文的结构安排 | 第18-19页 |
| 第二章 电感耦合式射频等离子产生及特性 | 第19-40页 |
| 2.1 本章引言 | 第19页 |
| 2.2 等离子体产生方式 | 第19-23页 |
| 2.3 等离子体产生原理 | 第23-34页 |
| 2.3.1 电场频率对气体放电机制的影响 | 第23-26页 |
| 2.3.2 射频放电的频率影响 | 第26-28页 |
| 2.3.3 射频放电的电子能量 | 第28-29页 |
| 2.3.4 阻抗匹配网络 | 第29-30页 |
| 2.3.5 电位分布和高频鞘 | 第30-32页 |
| 2.3.6 电感耦合式等离子及功率 | 第32-33页 |
| 2.3.7 电感耦合式等离子体功率的耦合效率 | 第33-34页 |
| 2.4 等离子体清洗机理 | 第34-38页 |
| 2.5 充气系统及气体配比 | 第38-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 电感耦合式射频等离子清洗系统设计研制 | 第40-57页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 电感耦合式等离子体装置设计 | 第40-44页 |
| 3.2.1 电感耦合式等离子装置类型 | 第41页 |
| 3.2.2 电感线圈的计算与设计 | 第41-44页 |
| 3.3 电感耦合式射频等离子清洗系统技术指标 | 第44-45页 |
| 3.4 总体方案设计 | 第45-47页 |
| 3.5 机械结构设计 | 第47-50页 |
| 3.6 电控系统设计 | 第50-53页 |
| 3.7 电感耦合式等离子体清洗系统介绍 | 第53-57页 |
| 第四章 电感耦合式射频等离子清洗实验 | 第57-66页 |
| 4.1 引言 | 第57页 |
| 4.2 电感耦合式等离子清洗系统的工作流程 | 第57-58页 |
| 4.3 应用研究及工艺实验 | 第58-64页 |
| 4.3.1 工艺实验 | 第58-61页 |
| 4.3.2 与电容耦合式等离子清洗对比实验 | 第61-62页 |
| 4.3.3 碳化瓷杆清洗工艺实验 | 第62-64页 |
| 4.4 影响电感耦合式等离子清洗的主要因素 | 第64-66页 |
| 4.4.1 工艺气体 | 第64页 |
| 4.4.2 其他因素 | 第64-66页 |
| 第五章 结论 | 第66-68页 |
| 5.1 工作总结 | 第66页 |
| 5.2 工作不足和以后的研究方向和内容 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 攻读硕士学位期间完成的工作 | 第71-72页 |
