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一维MEMS矢量水听器的结构设计与工艺制备

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-17页
    1.1 研究背景及意义第9-10页
    1.2 矢量水听器国内外研究现状第10-13页
    1.3 MEMS矢量水听器的发展概况第13-15页
    1.4 本文主要研究内容第15-17页
2 一维MEMS矢量水听器结构设计第17-33页
    2.1 MEMS矢量水听器的理论基础第17-21页
        2.1.1 水声传播理论第17-18页
        2.1.2 仿生原理第18-19页
        2.1.3 压敏电阻的设计第19-21页
    2.2 水听器性能指标(灵敏度和工作带宽)第21-23页
    2.3 新型一维MEMS矢量水听器的设计第23-32页
        2.3.1 结构设计与选型第23-25页
        2.3.2 微结构理论分析第25-29页
        2.3.3 结构优化与仿真分析第29-32页
    2.4 本章小结第32-33页
3 一维MEMS矢量水听器工艺设计与制备第33-61页
    3.1 MEMS系统设计方法概述第33-34页
    3.2 工艺设计第34页
    3.3 加工所需关键工艺第34-38页
    3.4 MEMS矢量水听器工艺流程设计与讨论第38-43页
    3.5 工艺流程设计第43-46页
    3.6 版图设计第46-51页
        3.6.1 版图设计考虑的因素第46-48页
        3.6.2 版图设计说明第48-51页
    3.7 一维MEMS矢量水听器的制备第51-60页
    3.8 本章小结第60-61页
4 一维MEMS矢量水听器芯片测试第61-65页
    4.1 微结构形貌测试第61-62页
    4.2 压敏电阻一致性测试第62-64页
    4.3 本章小结第64-65页
5 总结与展望第65-68页
    5.1 工作总结第65-66页
    5.2 论文创新点第66页
    5.3 工作展望第66-68页
参考文献第68-73页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果第73-74页
致谢第74页

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