一维MEMS矢量水听器的结构设计与工艺制备
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 矢量水听器国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 MEMS矢量水听器的发展概况 | 第13-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 一维MEMS矢量水听器结构设计 | 第17-33页 |
| 2.1 MEMS矢量水听器的理论基础 | 第17-21页 |
| 2.1.1 水声传播理论 | 第17-18页 |
| 2.1.2 仿生原理 | 第18-19页 |
| 2.1.3 压敏电阻的设计 | 第19-21页 |
| 2.2 水听器性能指标(灵敏度和工作带宽) | 第21-23页 |
| 2.3 新型一维MEMS矢量水听器的设计 | 第23-32页 |
| 2.3.1 结构设计与选型 | 第23-25页 |
| 2.3.2 微结构理论分析 | 第25-29页 |
| 2.3.3 结构优化与仿真分析 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 一维MEMS矢量水听器工艺设计与制备 | 第33-61页 |
| 3.1 MEMS系统设计方法概述 | 第33-34页 |
| 3.2 工艺设计 | 第34页 |
| 3.3 加工所需关键工艺 | 第34-38页 |
| 3.4 MEMS矢量水听器工艺流程设计与讨论 | 第38-43页 |
| 3.5 工艺流程设计 | 第43-46页 |
| 3.6 版图设计 | 第46-51页 |
| 3.6.1 版图设计考虑的因素 | 第46-48页 |
| 3.6.2 版图设计说明 | 第48-51页 |
| 3.7 一维MEMS矢量水听器的制备 | 第51-60页 |
| 3.8 本章小结 | 第60-61页 |
| 4 一维MEMS矢量水听器芯片测试 | 第61-65页 |
| 4.1 微结构形貌测试 | 第61-62页 |
| 4.2 压敏电阻一致性测试 | 第62-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 5 总结与展望 | 第65-68页 |
| 5.1 工作总结 | 第65-66页 |
| 5.2 论文创新点 | 第66页 |
| 5.3 工作展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
