| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.2 论文的结构安排 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-17页 |
| 第二章 光纤通信系统中的高速、大功率、低功耗光电探测器及阵列 | 第17-43页 |
| 2.1 应用于光纤通信系统中的光电探测器 | 第18-27页 |
| 2.1.1 垂直耦合p-i-n光电探测器 | 第20-21页 |
| 2.1.2 几种基于简单垂直耦合p-i-n外延结构改进的光电探测器 | 第21-26页 |
| 2.1.3 单行载流子光电探测器 | 第26-27页 |
| 2.2 零偏压、低功耗光电探测器及其研究进展 | 第27-30页 |
| 2.3 高速、大功率光电探测器阵列及其研究进展 | 第30-32页 |
| 2.4 光电探测器的性能参数 | 第32-35页 |
| 2.5 台面结构光电探测器的基本制备工艺 | 第35-39页 |
| 2.5.1 Ⅲ-Ⅴ半导体器件的外延生长 | 第36页 |
| 2.5.2 台面结构光电探测器的制备工艺 | 第36-38页 |
| 2.5.3 台面结构光电探测器的后工艺制备流程 | 第38-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39页 |
| 参考文献 | 第39-43页 |
| 第三章 新型零偏压单行载流子光电探测器的设计与研究 | 第43-49页 |
| 3.1 具有INALAS/INGAAS P型异质结构的单行载流子光电探测器设计 | 第43-44页 |
| 3.2 新型零偏压单行载流子光电探测器的仿真结果与分析 | 第44-47页 |
| 3.2.1 频率响应仿真 | 第44-45页 |
| 3.2.2 响应度仿真 | 第45-46页 |
| 3.2.3 直流饱和特性仿真 | 第46-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 新型对称连接光电探测器阵列的提出与实现 | 第49-61页 |
| 4.1 行波P-I-N光电探测器阵列 | 第49-53页 |
| 4.1.1 双管芯行波光电探测器阵列的结构设计 | 第50页 |
| 4.1.2 双管芯行波光电探测器阵列的制备与测试 | 第50-51页 |
| 4.1.3 双管芯行波光电探测器阵列性能测试结果 | 第51-53页 |
| 4.2 对称连接P-I-N光电探测器阵列的提出 | 第53-56页 |
| 4.2.1 双管芯对称连接光电探测器阵列的结构设计 | 第54页 |
| 4.2.2 双管芯对称连接光电探测器阵列的制备与测试 | 第54页 |
| 4.2.3 对称连接光电探测器阵列性能测试结果 | 第54-56页 |
| 4.3 行波光电探测器阵列与对称连接光电探测器阵列的性能对比 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 第五章 对称连接光电探测器阵列的优化 | 第61-79页 |
| 5.1 光电探测器管芯外延结构的优化 | 第61-62页 |
| 5.2 双管芯对称连接光电探测器阵列电极结构的优化 | 第62-72页 |
| 5.2.1 光电探测器阵列电极的传输线理论 | 第63-67页 |
| 5.2.2 优化光电探测器电极结构的仿真方法 | 第67-68页 |
| 5.2.3 双管芯对称连接光电探测器阵列电极结构的仿真优化 | 第68-70页 |
| 5.2.4 最优化电极结构的制备及测试 | 第70-72页 |
| 5.3 优化双管芯对称连接单行载流子光电探测器阵列的制备及测试 | 第72-73页 |
| 5.4 多管芯中心对称光电探测器阵列的设计 | 第73-77页 |
| 5.5 本章小结 | 第77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
| 第六章 与亚波长光栅功分器混合集成的双管芯对称连接光电探测器阵列的提出与实现 | 第79-95页 |
| 6.1 与亚波长光栅功分器混合集成的光电探测器阵列的设计 | 第79-80页 |
| 6.2 二维亚波长光栅功分器简介 | 第80-87页 |
| 6.2.1 二维高折射率差亚波长光栅的波前相位控制原理 | 第80-81页 |
| 6.2.2 二维亚波长光栅功分器的设计 | 第81-83页 |
| 6.2.3 二维亚波长光栅功分器的仿真结果 | 第83-84页 |
| 6.2.4 亚波长光栅功分器的分束效果测试 | 第84-87页 |
| 6.3 与混合集成器件相关的制备工艺 | 第87页 |
| 6.3.1 SOI基亚波长光栅功分器的制备 | 第87页 |
| 6.3.2 用于混合集成的工艺 | 第87页 |
| 6.4 混合集成P-I-N光电探测器阵列 | 第87-90页 |
| 6.5 混合集成单行载流子光电探测器阵列 | 第90-94页 |
| 6.6 本章小结 | 第94页 |
| 参考文献 | 第94-95页 |
| 第七章 基于GPIB总线及PYTHON的光电子器件性能参数自动测试程序的设计与实现 | 第95-109页 |
| 7.1 GPIB及PYTHON简介 | 第95-96页 |
| 7.2 测试系统、测试环境的搭建及测试程序的开发 | 第96-106页 |
| 7.2.1 光电子器件性能测试系统简介 | 第96-101页 |
| 7.2.2 计算机端测试环境的配置 | 第101-102页 |
| 7.2.3 测试程序的结构 | 第102-105页 |
| 7.2.4 基于脚本运行环境的测试程序 | 第105-106页 |
| 7.2.5 具备图形化用户界面的测试程序 | 第106页 |
| 7.3 测试程序的扩展及展望 | 第106-107页 |
| 7.4 本章小结 | 第107页 |
| 参考文献 | 第107-109页 |
| 第八章 总结与展望 | 第109-111页 |
| 8.1 总结 | 第109-110页 |
| 8.2 展望 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-113页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文和申请的专利 | 第113-114页 |
| 学术论文 | 第113-114页 |
| 申请专利 | 第114页 |
