| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 金属氮化物薄膜的发展 | 第9-12页 |
| 1.2.1 二元金属氮化物薄膜 | 第10页 |
| 1.2.2 多元金属氮化物薄膜 | 第10页 |
| 1.2.3 微结构强化金属氮化物薄膜 | 第10-12页 |
| 1.3 氧化物润滑薄膜的发展 | 第12-13页 |
| 1.4 多层膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 1.4.1 物理气相沉积 | 第13-14页 |
| 1.4.2 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术 | 第14-15页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要内容 | 第15-17页 |
| 2 薄膜的制备与表征 | 第17-23页 |
| 2.0 实验材料及镀前预处理 | 第17页 |
| 2.0.1 实验材料 | 第17页 |
| 2.0.2 镀膜前预处理 | 第17页 |
| 2.1 薄膜的制备 | 第17-18页 |
| 2.2 纳米多层膜的微观组织结构表征 | 第18-20页 |
| 2.2.1 X射线反射(XRR)分析 | 第18-19页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD)分析 | 第19页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM)观察与分析 | 第19页 |
| 2.2.4 透射电子显微镜(TEM)观察与分析 | 第19-20页 |
| 2.2.5 原子力显微镜(AFM)观察与分析 | 第20页 |
| 2.3 纳米多层膜的性能表征 | 第20-23页 |
| 2.3.1 纳米压入试验 | 第20-21页 |
| 2.3.2 摩擦磨损试验 | 第21-22页 |
| 2.3.3 结合强度测试 | 第22-23页 |
| 3 不同调制周期TiAlN/Mo_2N纳米多层膜的微观组织与性能分析 | 第23-41页 |
| 3.1 薄膜的制备方法 | 第23页 |
| 3.2 微观组织结构分析 | 第23-32页 |
| 3.2.1 物相分析 | 第23-25页 |
| 3.2.2 多层膜调制结构的观察与分析 | 第25-29页 |
| 3.2.3 表面和截面形貌分析 | 第29-31页 |
| 3.2.4 原子力显微分析 | 第31-32页 |
| 3.3 力学性能与摩擦磨损性能分析 | 第32-40页 |
| 3.3.1 硬度及弹性模量表征 | 第32-35页 |
| 3.3.2 膜基结合强度表征 | 第35-36页 |
| 3.3.3 摩擦磨损性能表征 | 第36-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 不同调制比TiAlN/Mo_2N纳米多层膜的微观组织与性能分析 | 第41-57页 |
| 4.1 薄膜的制备方法 | 第41页 |
| 4.2 微观组织结构分析 | 第41-48页 |
| 4.2.1 物相分析 | 第41-42页 |
| 4.2.2 多层膜调制结构的观察与分析 | 第42-44页 |
| 4.2.3 表面和截面形貌分析 | 第44-46页 |
| 4.2.4 原子力显微分析 | 第46-48页 |
| 4.3 力学性能与摩擦学性能分析 | 第48-54页 |
| 4.3.1 硬度及弹性模量表征 | 第48-49页 |
| 4.3.2 膜基结合强度表征 | 第49-50页 |
| 4.3.3 摩擦磨损性能表征 | 第50-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-57页 |
| 5 TiAlN/Mo_2N纳米多层膜的摩擦磨损机制 | 第57-63页 |
| 5.1 室温下TiAlN薄膜和TiAlN/Mo_2N纳米多层膜的摩擦磨损行为讨论 | 第57-58页 |
| 5.2 不同温度下TiAlN/Mo_2N纳米多层膜的摩擦磨损行为讨论 | 第58-63页 |
| 6 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
