单晶炉结构有限元分析及优化设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·半导体硅工业发展现状 | 第8-9页 |
| ·单晶硅制备方法 | 第9-10页 |
| ·当前单晶炉结构设计与优化研究现状 | 第10-11页 |
| ·本文主要工作内容 | 第11-12页 |
| 2 直拉式单晶炉结构及工况分析 | 第12-16页 |
| ·直拉单晶炉结构 | 第12-13页 |
| ·直拉法单晶硅生长的工艺过程 | 第13-14页 |
| ·工况状态 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 3 直拉式单晶炉支撑架结构静力分析 | 第16-38页 |
| ·有限元方法基础 | 第16-19页 |
| ·有限元法的基本思想及步骤 | 第16-18页 |
| ·有限元法的特点 | 第18-19页 |
| ·ANSYS软件的介绍 | 第19-21页 |
| ·ANSYS软件的主要功能 | 第20页 |
| ·ANSYS分析步骤 | 第20-21页 |
| ·脚垫铁有限元分析 | 第21-31页 |
| ·建立有限元模型时的简化原则 | 第22页 |
| ·统一单位制 | 第22页 |
| ·定义单元属性 | 第22-23页 |
| ·模型的网格划分 | 第23-25页 |
| ·边界条件加载及求解 | 第25-31页 |
| ·主要连接螺栓的强度校核 | 第31-36页 |
| ·第二种工况螺栓强度校核 | 第32-35页 |
| ·第三种工况下的连接螺栓强度校核 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 4 炉体支承座结构的优化设计 | 第38-52页 |
| ·炉体支承座结构模型分析 | 第38-39页 |
| ·正交试验的设计 | 第39-47页 |
| ·正交试验的目的 | 第39页 |
| ·确定因素水平和指标 | 第39-40页 |
| ·试验结果及分析 | 第40-46页 |
| ·多元线性回归函数的构造 | 第46-47页 |
| ·优化求解 | 第47-49页 |
| ·目标函数的建立 | 第47-48页 |
| ·状态变量及约束条件 | 第48页 |
| ·建立数学模型 | 第48页 |
| ·轻量化计算 | 第48-49页 |
| ·结果检验 | 第49-50页 |
| ·结构改进 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 单晶炉整体结构振动特性分析 | 第52-66页 |
| ·模态分析概述 | 第52-53页 |
| ·有限元模态分析方法 | 第53-56页 |
| ·有限元模态分析原理 | 第53-55页 |
| ·模态提取方法 | 第55-56页 |
| ·计算过程与结果分析 | 第56-60页 |
| ·单晶炉结构有限元模型 | 第56-57页 |
| ·模态计算 | 第57-59页 |
| ·计算结果分析 | 第59-60页 |
| ·实验模态分析 | 第60-65页 |
| ·实验原理 | 第60页 |
| ·实验方法 | 第60-61页 |
| ·测试系统 | 第61-62页 |
| ·试验结果 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| ·结论 | 第66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第74页 |
