| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.1.1 背景 | 第8-10页 |
| 1.2 KNN 薄膜及其压电效应 | 第10-15页 |
| 1.3 BFO 薄膜及其压电效应 | 第15-17页 |
| 1.4 热释电起源及其材料体系 | 第17-21页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验材料及方法 | 第22-27页 |
| 2.1 实验材料及方法 | 第22页 |
| 2.1.1 衬底材料的选择 | 第22页 |
| 2.1.2 KNN 溶胶和 BFO 溶胶的制备 | 第22页 |
| 2.2 薄膜材料的制备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 薄膜材料制备流程 | 第22-23页 |
| 2.2.2 主要工艺参数 | 第23-24页 |
| 2.3 顶电极的制备及工艺参数 | 第24-25页 |
| 2.4 实验研究方法 | 第25-27页 |
| 2.4.1 X-ray 衍射分析 | 第25页 |
| 2.4.2 组织形貌观察 | 第25-26页 |
| 2.4.3 电性能的测量 | 第26-27页 |
| 第3章 薄膜物相和组织结构 | 第27-52页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 溶胶的制备 | 第27-31页 |
| 3.2.1 溶液稳定剂 | 第30-31页 |
| 3.3 BFO 薄膜物相及组织结构 | 第31-33页 |
| 3.4 KNN 薄膜物相及组织结构 | 第33-39页 |
| 3.5 KNN/BFO/KNN 多层薄膜物相及组织结构 | 第39-51页 |
| 3.5.1 多层复合薄膜的制备工艺 | 第39-40页 |
| 3.5.2 4x4 型多层复合薄膜物相及组织结构 | 第40-42页 |
| 3.5.3 5x5 型多层复合薄膜物相及组织结构 | 第42-48页 |
| 3.5.4 6x6 型多层复合薄膜物相及组织结构 | 第48-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 KNN/BFO/KNN 多层复合薄膜的电性能 | 第52-73页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 BFO 和 KNN 薄膜的电性能 | 第52-57页 |
| 4.2.1 BFO 薄膜的电性能 | 第52-53页 |
| 4.2.2 KNN 薄膜的电性能 | 第53-57页 |
| 4.3 复合薄膜的电性能 | 第57-71页 |
| 4.3.1 4x4 型复合薄膜电性能 | 第57-62页 |
| 4.3.2 5x5 型复合薄膜电性能 | 第62-66页 |
| 4.3.3 6x6 型复合薄膜电性能 | 第66-71页 |
| 4.4 巨压电效应机制 | 第71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 致谢 | 第81页 |