四氯化硅冷氢化工艺中热量优化利用的研究
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第1章 文献综述 | 第10-28页 |
1.1 引言 | 第10-11页 |
1.2 多晶硅生产的工艺及特点 | 第11-13页 |
1.2.1 冶金法制备多晶硅 | 第11页 |
1.2.2 硅烷热分解法制备多晶硅 | 第11-12页 |
1.2.3 流化床法制备多晶硅 | 第12页 |
1.2.4 改良西门子法制备多晶硅 | 第12-13页 |
1.3 我国多晶硅行业发展的特点及现状 | 第13-14页 |
1.4 四氯化硅氢化的工艺及特点 | 第14-16页 |
1.4.1 热氢化工艺 | 第14-15页 |
1.4.2 等离子氢化工艺 | 第15页 |
1.4.3 冷氢化工艺 | 第15-16页 |
1.4.4 氯氢化工艺 | 第16页 |
1.5 化工节能技术的研究与发展 | 第16-18页 |
1.5.1 换热网络优化设计原则 | 第17页 |
1.5.2 数学规划法 | 第17-18页 |
1.6 夹点技术 | 第18-25页 |
1.6.1 夹点的形成与含义 | 第19-20页 |
1.6.2 最优夹点温差 | 第20-21页 |
1.6.3 问题表法确定夹点 | 第21页 |
1.6.4 夹点技术的设计原则 | 第21-22页 |
1.6.5 物流的分流和循环匹配 | 第22-23页 |
1.6.6 夹点技术设计的步骤 | 第23-24页 |
1.6.7 使用夹点技术分析现有网络的方法 | 第24页 |
1.6.8 夹点技术的应用与发展 | 第24-25页 |
1.7 化工过程模拟的发展 | 第25-27页 |
1.7.1 化工过程模拟 | 第25-26页 |
1.7.2 Aspen Plus软件简介 | 第26-27页 |
1.8 本文的研究目的及主要内容 | 第27-28页 |
第2章 四氯化硅冷氢化工艺流程模拟 | 第28-36页 |
2.1 四氯化硅冷氢化工艺流程 | 第28-30页 |
2.1.1 氢化反应单元流程简介 | 第28-29页 |
2.1.2 氢化反应产品分离提纯单元流程简介 | 第29页 |
2.1.3 四氯化硅冷氢化工艺操作条件的提取 | 第29-30页 |
2.2 四氯化硅冷氢化工艺流程模型 | 第30-33页 |
2.2.1 物性方法的选择 | 第30页 |
2.2.2 设备模型的选择 | 第30-31页 |
2.2.3 建立模拟工艺图 | 第31-33页 |
2.3 模拟结果与实际生产数据对比 | 第33-35页 |
2.4 本章小结 | 第35-36页 |
第3章 四氯化硅冷氢化工艺夹点分析 | 第36-44页 |
3.1 冷氢化工艺用能分析 | 第36-37页 |
3.2 物流信息提取 | 第37-39页 |
3.3 换热网络夹点分析 | 第39-43页 |
3.3.1 氢化反应单元夹点分析 | 第39-41页 |
3.3.2 反应产品分离提纯单元夹点分析 | 第41-43页 |
3.4 本章小结 | 第43-44页 |
第4章 四氯化硅冷氢化换热网络系统改造 | 第44-58页 |
4.1 氢化反应单元换热网络改造 | 第44-49页 |
4.1.1 改造前换热网络图 | 第44-45页 |
4.1.2 原始换热网络的匹配情况 | 第45页 |
4.1.3 原始换热网络存在的问题分析 | 第45-46页 |
4.1.4 使用夹点技术进行网络优化 | 第46-47页 |
4.1.5 改造后的换热网络图 | 第47页 |
4.1.6 改造后的工艺流程图 | 第47-48页 |
4.1.7 改造前后系统用能对比 | 第48-49页 |
4.2 产品分离提纯单元工艺优化 | 第49-52页 |
4.2.1 原始换热网络的匹配情况 | 第49-50页 |
4.2.2 产品分离提纯单元优化 | 第50-51页 |
4.2.3 优化前后系统用能对比 | 第51-52页 |
4.3 投资预算及经济效益分析 | 第52-55页 |
4.3.1 投资预算 | 第52-53页 |
4.3.2 经济效益分析 | 第53-55页 |
4.4 改造实施后实际运行效果 | 第55-56页 |
4.5 本章小结 | 第56-58页 |
结论与展望 | 第58-60页 |
参考文献 | 第60-64页 |
发表论文和参加科研情况说明 | 第64-66页 |
致谢 | 第66-67页 |