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四氯化硅冷氢化工艺中热量优化利用的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 文献综述第10-28页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 多晶硅生产的工艺及特点第11-13页
        1.2.1 冶金法制备多晶硅第11页
        1.2.2 硅烷热分解法制备多晶硅第11-12页
        1.2.3 流化床法制备多晶硅第12页
        1.2.4 改良西门子法制备多晶硅第12-13页
    1.3 我国多晶硅行业发展的特点及现状第13-14页
    1.4 四氯化硅氢化的工艺及特点第14-16页
        1.4.1 热氢化工艺第14-15页
        1.4.2 等离子氢化工艺第15页
        1.4.3 冷氢化工艺第15-16页
        1.4.4 氯氢化工艺第16页
    1.5 化工节能技术的研究与发展第16-18页
        1.5.1 换热网络优化设计原则第17页
        1.5.2 数学规划法第17-18页
    1.6 夹点技术第18-25页
        1.6.1 夹点的形成与含义第19-20页
        1.6.2 最优夹点温差第20-21页
        1.6.3 问题表法确定夹点第21页
        1.6.4 夹点技术的设计原则第21-22页
        1.6.5 物流的分流和循环匹配第22-23页
        1.6.6 夹点技术设计的步骤第23-24页
        1.6.7 使用夹点技术分析现有网络的方法第24页
        1.6.8 夹点技术的应用与发展第24-25页
    1.7 化工过程模拟的发展第25-27页
        1.7.1 化工过程模拟第25-26页
        1.7.2 Aspen Plus软件简介第26-27页
    1.8 本文的研究目的及主要内容第27-28页
第2章 四氯化硅冷氢化工艺流程模拟第28-36页
    2.1 四氯化硅冷氢化工艺流程第28-30页
        2.1.1 氢化反应单元流程简介第28-29页
        2.1.2 氢化反应产品分离提纯单元流程简介第29页
        2.1.3 四氯化硅冷氢化工艺操作条件的提取第29-30页
    2.2 四氯化硅冷氢化工艺流程模型第30-33页
        2.2.1 物性方法的选择第30页
        2.2.2 设备模型的选择第30-31页
        2.2.3 建立模拟工艺图第31-33页
    2.3 模拟结果与实际生产数据对比第33-35页
    2.4 本章小结第35-36页
第3章 四氯化硅冷氢化工艺夹点分析第36-44页
    3.1 冷氢化工艺用能分析第36-37页
    3.2 物流信息提取第37-39页
    3.3 换热网络夹点分析第39-43页
        3.3.1 氢化反应单元夹点分析第39-41页
        3.3.2 反应产品分离提纯单元夹点分析第41-43页
    3.4 本章小结第43-44页
第4章 四氯化硅冷氢化换热网络系统改造第44-58页
    4.1 氢化反应单元换热网络改造第44-49页
        4.1.1 改造前换热网络图第44-45页
        4.1.2 原始换热网络的匹配情况第45页
        4.1.3 原始换热网络存在的问题分析第45-46页
        4.1.4 使用夹点技术进行网络优化第46-47页
        4.1.5 改造后的换热网络图第47页
        4.1.6 改造后的工艺流程图第47-48页
        4.1.7 改造前后系统用能对比第48-49页
    4.2 产品分离提纯单元工艺优化第49-52页
        4.2.1 原始换热网络的匹配情况第49-50页
        4.2.2 产品分离提纯单元优化第50-51页
        4.2.3 优化前后系统用能对比第51-52页
    4.3 投资预算及经济效益分析第52-55页
        4.3.1 投资预算第52-53页
        4.3.2 经济效益分析第53-55页
    4.4 改造实施后实际运行效果第55-56页
    4.5 本章小结第56-58页
结论与展望第58-60页
参考文献第60-64页
发表论文和参加科研情况说明第64-66页
致谢第66-67页

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