光栅尺读数头微型光学显微成像系统设计与研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.2 光栅测量技术概述 | 第13-20页 |
| 1.2.1 光栅位移传感器的分类 | 第13-16页 |
| 1.2.2 光栅位移传感器的主要特点及应用范围 | 第16-17页 |
| 1.2.3 国内外发展现状 | 第17-20页 |
| 1.3 研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 1.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 光栅读数头原理及其成像系统分析 | 第22-30页 |
| 2.1 光栅尺原理分析 | 第22-26页 |
| 2.1.1 光电式光栅尺原理分析 | 第22-24页 |
| 2.1.2 图像识别光栅尺原理分析 | 第24-26页 |
| 2.2 光栅读数头成像系统分析 | 第26-28页 |
| 2.2.1 成像系统光学特性 | 第26-27页 |
| 2.2.2 成像系统设计总体方案 | 第27-28页 |
| 2.3 光栅读数头成像系统技术指标分析 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 光栅读数头成像系统设计 | 第30-50页 |
| 3.1 成像式光栅读数头的结构与作用 | 第30-31页 |
| 3.2 光学系统设计流程分析 | 第31-32页 |
| 3.3 像差理论与设计方法分析 | 第32-37页 |
| 3.3.1 像差概述 | 第32-33页 |
| 3.3.2 几何像差原理 | 第33-36页 |
| 3.3.3 波像差原理 | 第36-37页 |
| 3.4 光学系统的设计与实现 | 第37-49页 |
| 3.4.1 设计工具简介 | 第37-38页 |
| 3.4.2 初级像差理论PW形式求解初始结构参数 | 第38-40页 |
| 3.4.3 双胶合透镜组像差参量与结构参数关系 | 第40-41页 |
| 3.4.4 透镜各折射面曲率半径的计算 | 第41-42页 |
| 3.4.5 初始结构参数的输入与设置 | 第42-44页 |
| 3.4.6 初始系统成像效果分析 | 第44-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 光栅读数头成像系统优化 | 第50-63页 |
| 4.1 两种最优化方法的数学原理 | 第50-51页 |
| 4.1.1 适应法 | 第50-51页 |
| 4.1.2 阻尼最小二乘法 | 第51页 |
| 4.2 评价函数的设定 | 第51-53页 |
| 4.3 像差校正 | 第53-56页 |
| 4.3.1 像差校正平衡方法 | 第53-54页 |
| 4.3.2 像差校正与优化 | 第54-56页 |
| 4.4 系统像质评价 | 第56-60页 |
| 4.5 系统设计结果 | 第60-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 试验与分析 | 第63-67页 |
| 5.1 实验评价方法与原则 | 第63-64页 |
| 5.1.1 公差制定原则 | 第63页 |
| 5.1.2 公差方式介绍 | 第63-64页 |
| 5.2 实验结果分析 | 第64-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 总结与展望 | 第67-69页 |
| 课题总结 | 第67-68页 |
| 课题展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
